中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-21 #9167004 を販売中

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ID: 9167004
Double sided mask aligner (2) 350 Watt lamp houses UV 400 Optics (2) Internal sensors: 65nm / 405nm SUSS Split-field bottom side microscope: (2) 150 Watts fiber optic microscope illuminators (2) 10x Objectives (2) 10x Eyepieces Proximity Soft contact capable Soft contact chuck (2) Mask holders Manuals.
KARL SUSS/MICROTEC MJB-21は、フォトリソグラフィックで作成されたマスクパターンを半導体デバイス製造用の基板上に正確に配置および整列させるために使用される堅牢で信頼性の高いマスクアライナーです。様々なサイズや形状の基板に対応できるフレキシブルな設計となっています。MICROTEC MJB-21は、解像度0。25 μ m、精度2 μ mの高品質な画像を生成し、高性能デバイス開発のための複雑な機能を開発することができます。マスクアライナーは、6インチの独立したレンズ装置と連続可変ρ -zステージを使用して、正確なX、 Y、およびZ軸の動きによって写真のアライメントを正確に制御します。高解像度LCDスクリーンを使用すると、露出前にマスクパターンのアライメントを検査および修正できます。このシステムには、画像配置を最適化する高度なアライメント機能を備えた組み込みソフトウェアも含まれています。KARL SUSS MJB 21の堅牢な構築により、長期的な精度と再現性が不可欠な生産環境でのマスクアライナーの信頼性の高い保管と輸送が保証されます。このユニットは、安定したコントロールパネルインターフェイスを使用して、ユーザーがデバイス製造プロセスに合わせた露出プロファイルを選択できるようにし、画像データはCMOSセンサーを介して認証されます。さらに、レンズマシンが汚染されるのを防ぐカバーシールドを介して安全対策が行われています。MICROTEC MJB 21は、10 μ m以上のデバイス寸法と1 μ m以上の再現性を実現し、先進的な半導体デバイスの製造に最適です。
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