中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-21 #9140521 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-21は、主にフォトリソグラフィ加工に使用される高精度マスクアライナーです。これは、サブミクロン半導体デバイスおよび部品の精密な製造のためのクリーンで安全で信頼性の高い環境を提供するように設計されています。MICROTEC MJB-21は150mm×190mmの加熱ステージを持ち、4インチ基板の動きを可能にします。1 x 1"領域に均一に露出し、最大アライメントスポット配置は5ミクロンで4インチのウェーハ上に配置されます。また、KARL SUSS MJB 21は、デバイス構造の正確なアライメントと接合を実現するための画像処理を備えたアライメントモニターを備えています。KARL SUSS/MICROTEC MJB 21は、2つの独立したプログラム可能な400ワット水銀アークランプを備えており、圧力制御された均一な露出面積は1 x 1です。ランプは、最大出力11mJ/cm2で、露出時間を10秒から250秒まで独立に変化させることができます。これにより、多種多様な材料の加工に必要な柔軟性が得られます。MICROTEC MJB 21は、コリメート顕微鏡を使用して高速かつ正確かつ再現可能なアライメントをユーザーに提供し、マスクに対する基板の手動または自動アライメントを利用します。MJB-21マスクアライナーには、ステージ内の加熱素子が含まれており、各アプリケーションに合わせて調整可能な湿度で室温から100°Cまで設定できます。また、精密位置決めと真空チャッキング装置を備えており、正確な基板配置と0。5ミクロンの微細なステップを可能にします。KARL SUSS MJB-21には、セットアップを簡素化し、全体的な信頼性を向上させるリモート診断およびメンテナンスインターフェイスが含まれています。MJB 21はまた、高度な真空システムを使用して、アライメント処理中の空気の動きを最小限に抑えます。これにより、再現可能な結果と正確なアライメントが保証され、デバイスの汚染が低減されます。KARL SUSS/MICROTEC MJB-21は、2枚のマスクを同時に自動処理するデュアルリフトオフユニットと、両方のマスクを正確に配置するセンタリングマシンを備えています。これにより、複雑なレイアウトでもデバイスをより効率的かつ正確に処理できます。MICROTEC MJB-21は、最先端かつ正確なフォトリソグラフィ処理をユーザーに提供するために設計された高精度マスクアライナーです。1×1の均一な露出面積を提供し、最大アライメントスポット配置は5ミクロンで4インチのウェーハに配置されます。それは2つの独立した、プログラム可能な400ワット水銀アークランプ、1 x 1"の圧力制御された均一な露出区域、遠隔診断および維持インターフェイス、高度の真空用具および2つのマスクの同時処理を可能にする二重上昇の資産を特色にします。これらのすべての機能により、KARL SUSS MJB 21は、効率的で正確なフォトリソグラフィ処理に最適なツールです。