中古 KARL SUSS / MICROTEC MJB-21 #9096329 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MJB-21は、大量生産および研究レベルのプロセスでフォトリソグラフィに一般的に使用される高精度マスクアライナーです。MICROTEC MJB-21は、さまざまな基板上で高精度な微細加工プロセスを行うことができる3軸、コンピュータ制御、高精度露光機です。プログラマブルなモーションコントロール、露光照明、露光レベル、事前定義されたアライメント精度、および精密な生産に必要なその他のパラメータを幅広く提供します。KARL SUSS MJB 21は、顕微鏡レベルの照明の光源として175ワットの水銀キセノンランプを使用しています。このランプは、毎回正確な露出を提供する際に堅牢で信頼性の高いものです。このランプにまた365 nmの波長があり、望まれる露出のタイプに従って調節することができます。さらに、MJB 21には、0。1ミクロンの精度を保証する特許取得済みのSMPR（サブミクロン位置決め解像度）装置が組み込まれています。このSMPRシステムは、インステージポジショナーと高精度レーザー干渉計を使用しており、最小の物体でもアライメント精度を維持しながら、作業面の正確な移動を可能にします。高精度アプリケーションのフォトリソグラフィを成功させるためには、KARL SUSS MJB-21の精度を監視し、評価する必要があります。これは、マシンに組み込まれているレーザー干渉計を使用して定期的に監視されます。干渉計は、すべての露出が正しいアライメントで実行され、最適な生産結果が得られることを保証します。変更が必要な場合、KARL SUSS/MICROTEC MJB 21独自のSMPR技術により、新しいプロセスのいくつかのユーザー定義パラメータを使用して、現在のアライメントを自動的に更新できます。MJB-21は低熱ドリフト、高い信頼性、および低い維持のために設計されています。制御アルゴリズムは比較的簡単で、ユニットには複数の露出レベルとアライメントレベルが装備されているため、ユーザーはアプリケーションに最適なものを選択できます。MICROTEC MJB 21は、微細加工プロセスに特化した先進的なマスクアライナーです。KARL SUSS/MICROTEC MJB-21は、調整可能な照明、アライメントレベル、モーションコントロールなど、さまざまなカスタマイズ可能な機能を備えており、高精度プロセスを正確かつ正確に実行できます。サーマルドリフトを最小限に抑え、メンテナンス性も低い堅牢で信頼性の高い機械です。MICROTEC MJB-21は、非常に高い精度と精度を必要とするあらゆるプロセスに不可欠なツールです。