中古 KARL SUSS / MICROTEC Mask Track Pro #293634693 を販売中

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ID: 293634693
ヴィンテージ: 2007
System DIW Heater Media cabinet Booster pump O3 Generator AC Rack Transformer Camera PC 2007 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC Mask Track Proは、フォトリソグラフィ用途におけるファインジオメトリの製造に使用される最先端のマスクアライナーです。マイクロテックマスクトラックプロは、精密なウェーハステージを駆使し、高精度なマスクアライメントと高解像度ステージスキャン機能を提供します。アライナーは、最適なアライメント精度と信頼性を必要とするアプリケーション向けに特別に設計されています。KARL SUSS Mask Track Proの完全自動化されたアライメント装置は、最先端のホワイトライト干渉計システムに基づいています。干渉計は正弦波フリンジパターンをフォトマスクに投影し、センサーからの物体の正確な距離と直接相関して信号を誘導します。この信号は高度なCCDカメラで測定され、正確なマスク登録が可能です。高速センサと精密なモーターにより、マスクをウェハに非常に高速かつ正確にアライメントできます。さらに、Mask Track Proは、より正確で安定したアライメントを保証する6軸の最適化された感度機能を備えています。さらに、KARL SUSS/MICROTEC Mask Track Proには、最大2ミクロンの解像度でパターンを作成できる高解像度ステージスキャン再配置ユニットが搭載されています。この機能により、フォトマスク上の機能を非常に正確に制御できます。このマシンは、200ナノメートルのステップ分解能でステージを配置することができます。さらに、MICROTEC Mask Track Proは、ウェーハの正確なアライメントを可能にする自動ローディング機能を提供します。KARL SUSS Mask Track Proは、高解像度の機能と微細な形状でフォトマスクを正確に調整する強力なマスクアライナーです。高度な干渉計ツールにより、フォトマスクの正しい領域をウェーハに正確に設定でき、高速モータにより高速かつ正確な追跡が可能です。高解像度ステージスキャン再配置アセットにより、正確な機能の作成が保証され、自動ウェーハローディングモデルにより、正確なアライメントが保証されます。高度なデザインと堅牢なパフォーマンスを備えたMask Track Proは、要求の厳しいフォトリソグラフィーアプリケーションに最適な汎用性と信頼性の高い選択肢です。
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