中古 KARL SUSS / MICROTEC MA / BA 6 #293826496 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA/BA 6は、薄い模様の箔（マスク）を基板に整列させるために使用される完全自動ウェーハステッパー/マスクアライナーです。MICROTEC MA/BA 6は、マイクロエレクトロニクス業界や製造目的の研究機関でよく使用されています。ウェーハステッパー/マスクアライナーは、ガルバノメーターとコントローラを備えた2つの独立した6軸制御要素からなる「ビーム」設計を特徴としています。ガルバノメータは、基板の平面表面のスキャンを制御します。コントローラは3次元すべてに正確な座標系を持ち、高い位置精度を持っています。KARL SUSS MA/BA 6は、直径8インチ（200mm）までのウェーハ処理が可能です。6 「（152mm）から8」 （200mm）までのマスクサイズのフルレンジがあります。MA/BA 6の露出フィールドサイズは、最大8 m 8 mまでの最小5。5 m 5。5 mです。ステッパーは、正確な再現性と精度を可能にするインデックス機器で設計されています。これは、インデックスシステムが認識するマスク（またはクロムレスレチクル）の端に均等に間隔をあけた4つの穴からなる「4点のスコアアドレス」によって達成されます。KARL SUSS/MICROTEC MA/BA 6には、発泡調整ユニットのようにいくつかのオプション機能があり、ユーザーはマスクまたはレチクルが機械に取り付けられている特定の張力を設定することができます。ウェーハステッパーには、手動で動作するロードロックも装備されており、1つまたは複数の基板をロードし、露出/アライメントプロセスの前に冷却することができます。MICROTEC MA/BA 6には、複数のカメラを使用してアライメントターゲットの画像をキャプチャして比較するタンデムビジョンツールも含まれています。KARL SUSS MA/BA 6のより高度な機能には、複数のタスクを連続してプログラムする機能、高解像度のR2Rマスクプレートリーダー、強力なパターンマッチングアルゴリズムなどがあります。より高い精度を必要とするタスクのために、MA/BA 6にはオプションのデフレクターを装備することができます。これにより、露出ビームを微細なレベルに調整することができます。KARL SUSS/MICROTEC MA/BA 6には、ユーザーがさらにアセットをカスタマイズできる幅広い互換性のあるアクセサリーがあります。全体として、MICROTEC MA/BA 6は高度で自動化されたウェーハステッパー/マスクアライナーで、アライメントおよび露出プロセスの精度と再現性を最適化します。その機能と互換性のあるアクセサリは、ユーザーが特定の製造ニーズを満たすためにモデルをカスタマイズすることができます。