中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 #9210851 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 8は、一般的なフォトレジストや金属を含むほぼあらゆる種類の材料の正確なマイクロパターニング用に設計された先進的で高性能なマスクアライナーです。MICROTEC MA8は、大型ウェハやシングルチップの加工が可能で、汎用性と精度に優れています。この装置は、直径4。5〜8インチのマスクサイズの範囲を受け入れることができる8インチオプティカルマスクホルダーを備えており、5つの露出位置に調整可能です。高解像度イメージング用のNA 0。65を搭載した先進的な光学系を備えています。フィデューシャルアライメントシステムは、マスクの正確な位置決めと位置合わせに精密レーザーを使用し、手動アライメント調整を必要としません。KARL SUSS MA-8は、自動化されたアライメントとオートフォーカス設定を使用して、ウェーハ全体に正確かつ再現可能な露出を保証します。また、自動エッジスキャン機能を備えており、ウェーハの端をスキャンして調査し、距離と角度を確認します。この機能により、1つのウェーハから次のウェーハに移動しても、アライメントと露出が正しく維持されます。機械にまたパターンの精密配置を保障する調節可能な露出の線量制御および増分の設定を提供するプログラム可能な紫外線露出ランプがあります。このマシンは、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェイスと、信頼性と全体的な安全操作のためのさまざまな安全機能を備えています。照明器具は照明され、調節することができ、オペレータは正確な露出のためにウェーハを見、位置を調節することを可能にします。MICROTEC MA 8は、優れた熱変位のために設計されており、作動中に一定の温度を維持する埋め込み加熱アセットが含まれています。これにより、モデルは安定した反復可能な結果を維持することができます。装置はルーチンの微細構造のための費用効果が大きい解決であり、柔軟性および優秀な性能はそれを研究および生産の適用のための普及した選択にします。