中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 #293587271 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 8は、サブミクロン範囲の集積回路を製造するための完全自動フォトリソグラフィックマスクアライナーです。斜めと斜めのアライナー、UBMと非球面のミラーの範囲をサポートし、異なるプロセス要件に適合するステージのオートメーションレベルの広い範囲を高精度、モジュラーマシンです。これには、バッチ処理とシングルウェーハ処理の両方と、サンプル構造の高解像度測定が含まれます。MICROTEC MA8の主なコンポーネントは、X-Yステージ、ウェハチャック、サンプルホルダー、レチクルチャックです。X-Yステージは、サブミクロン分解能を提供する2つの精密デバイスを使用して、正確なアライメントのためのサンプル移動を可能にします。ウエハチャックは厚さ3mmまでの薄いサンプルを保持し、サンプルホルダーは顕微鏡と比較してそれらを配置します。マイクロプロセッサが一連のプログラムされたシーケンスを通してウェーハの動きを制御します。レチクルチャックは露出したマスクをウェーハ上に固定し、その動きもマイクロプロセッサによって制御されます。KARL SUSS MA-8の他の機能には、ステッピングモータのアライメントを提供する高度なフォーカスサーボシステムと、サンプルサイズと形状を識別する自動エッジ検出があります。精密アライメントによりサンプルを正確に配置でき、高周波のXY線形ステージを使用して非常に微細なアライメントと位置決めを行います。このシステムには、露出プロセスを制御するために使用される真空センサーも装備されています。MICROTEC MA 8は、最高の生産性を実現するために、空気圧制御、およびUBMアライメント用の感光材料の自動ドット/スパニングを提供します。また、アークランプ、X線源、レーザーなどの複数の露光源も備えています。これにより、生産プロセスの完全な自動化が可能になり、チップが確実に整列して露出することが保証されます。結論として、MA8はサブミクロン範囲の回路生産に最適な汎用性の高い高精度マスクアライナーです。モジュラー設計とさまざまな自動化された機能により、高精度のフォーカスとアライメントで、1つまたは複数のレイヤーの正確な露出を可能にします。多くの利点によって、この機械は良質および生産性の円の生産を提供できます。