中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #9276692 を販売中
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販売された
ID: 9276692
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2006
Mask aligner, 8"
Main body
UPS FT-1030
PC
Keyboard
Monitor
Type: Gen2
Topside alignment with BSIR
Function: Contact mode
CIC1200 Lamp power supply: 1000 W
2006 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8は、マイクロエレクトロニクス業界で半導体チップ用のリソグラフィーマスクを作成するために使用されるマスクアライナーの一種です。フォトレジスト処理用に設計されており、等しくない平面化の基板処理用に抵抗します。MICROTEC MA8/ BA8は、1ミクロン以上の精密なウェーハからマスクへのアライメント精度を提供し、高解像度のマイクロエレクトロニクス機器の製造に適しています。KARL SUSS MA8/ BA8は、プロジェクターユニットとアライメント装置で構成されるマスクアライナーです。プロジェクターユニットは、最大2ミクロンの露光スポットを投影することができるcwレーザーダイオードで、最大5µmピッチの基板を露出することができます。アライメントシステムは、4軸ステッピングモータで構成されており、基板と光源の相対的なマスク位置を調整することができます。マスクの位置合わせが容易な2軸マニュアルリフトアウトマシンを装備しています。KARL SUSS/MICROTEC MA8/ BA8は、薄膜トランジスタや集積回路用の高解像度リソグラフィマスクを製造できるため、半導体業界を中心に使用される高精度マスクアライナーです。MICROTEC MA 8/BA 8は、他のリソグラフィーマスクと比較してより正確な結果を得ることができるフィルムtoフィルム技術を使用しています。このフィルムtoフィルム技術は、マスクの各層が基板と完全に整列することを保証し、最小の幅と数ナノメートルの小さいサイズのマスクを製造することができます。さらに、MICROTEC MA8/ BA8は、基板上の露光スポットやパターンの位置を正確に制御できる集中露光ツールを使用しています。これにより、他のマスクアライナーシステムでは作成できない非常に複雑なパターンを作成できます。KARL SUSS MA8/ BA8は、半導体やバイオテクノロジー産業などの多くの産業で使用されている強力で汎用性の高いマスクアライナーです。基板設計から医療試験まで、さまざまな用途に使用される高品質のリソグラフィーマスクを製造することができます。KARL SUSS/MICROTEC MA8/ BA8は、高精度で高解像度のパターンを生成する能力をユーザーに提供する、効率的で費用対効果の高いマスクアライナーです。
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