中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #9171637 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8マスクアライナーは、フォトマスク製造に使用されるコンピュータ制御、自動ウェーハイメージングおよびアライメント装置です。このシステムは、微細加工プロセスにおいて不可欠なツールであり、焦点深度と正確なウェーハからマスクへのアライメントを制御しながら、2つの異なる基板を正確に整列させるために使用されます。MICROTEC MA8/ BA8は、ホストPCを備えた強力なコントローラで構成されています。3次元で移動するアナログスキャナ。高リゾリューションの光学カメライメージャ；超精密なアライメントヘッド。フィルタリングユニットです。また、2つの標準光源、水銀アークランプとキセノンアークランプが含まれています。それは手動かコンピュータ化された調節可能なバックライトおよび手動またはコンピュータ化された調節可能なz段階機械が装備されています。アライメントヘッドは、ツールの最も重要なコンポーネントです。マスクとウェーハの正確な位置決めを可能にします。マスクとウェーハが揃っているため、ズーム回転機能により登録が完璧です。その後、光学イメージングカメラは、マスクされた詳細の深さを測定することによって、アライメントの精度を高め、地形データをキャプチャします。ユニークなトリプル露出プロセスを使用して、KARL SUSS MA8/ BA8は完璧なアライメントを作成します。最初の露出は、名目座標の重複と整列で構成されています。2番目の露出は座標をオーバーサンプリングし、3番目の露出は正確な座標と一致します。この超精密画像とアライメントのアセットは、強力なホストコンピュータと組み合わせて画像を処理し、フォトマスク製造のための包括的なパターンファイルを作成します。さらに、KARL SUSS MA8/ BA8の精度と速度を最大化するための高度なソフトウェアを搭載しています。マスクデータを入力したり、画像を処理したり、既存のソフトウェアにリンクするためのユーザーフレンドリーな機能が含まれています。また、包括的なレイアウトエディタと品質保証用のマスク検査プログラムも提供しています。全体として、MA 8/BA 8マスクアライナーは、光電子デバイスの生産および複雑な微細加工プロセスに最適なソリューションです。強力なコントローラ、精密なイメージングおよびアライメント機器、高度なソフトウェアにより、効率的で費用対効果の高い生産を促進します。