中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #293609999 を販売中

MICROTEC MA 8およびBA 8は、半導体業界で使用される光学マスクの製造に使用される高度なリソグラフィー工具であるマスクアライナーです。これらのマスクアライナーは、コンピュータ制御の位置決め装置を備えており、機械内のクロムバーに配置された感光膜を正確に整列させて露出させることができます。MA 8およびBA 8は、50 nmまでの極めて正確な位置決め精度と800 nmまでの再現性を備え、高速かつ正確なアライメントを提供します。アライメントシステムは、オーバーレイの座標が知られているときにゼロシフト登録でオーバーレイを登録することを可能にします。各マスクアライナーには、露光に必要な150WのUVハロゲンランプとその他のコンポーネントが装備されています。露出制御は、自動シャッターマシンとタイミング露出設定を介して処理されます。システムに安全性が統合されており、電気ショックや塵の汚染から保護され、ランプの安全シールドと露出物を監視するためのカメラツールが搭載されています。その他の機能は、機能を簡単にナビゲーションするためのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスが含まれています。MA 8モデルは最大200 x 200 mm、最大6。5レベルのマスキングをサポートし、BA 8モデルは最大400 x 400 mm、最大24レベルのマスキングをサポートします。どちらのシステムにもリアルタイム校正エレクトロニクスと仮想フラットフィールド補正ソフトウェアがあり、精度と制御を向上させます。また、システムの設計により、低騒音の位置決めアセットを使用することにより、動作中の振動が少なく、静かな動作が保証されます。これらのマスクアライナーは、プロフェッショナルグレードのコンポーネントを通じて信頼性と精度を提供しながら、使いやすいように設計されています。MA 8およびBA 8は、半導体産業で使用される光学マスクを製造するための堅牢なリソグラフィーオプションを提供します。