中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 #293590393 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8は、高精度フォトリソグラフィ用途向けに設計された精密マスクアライナーです。様々な素材で作られたウェーハに繊細な微細構造を整列・パターン化するために使用されます。MICROTEC MA8/ BA8は、2つのモーター、モーター付きプレス、2つの顕微鏡の対物レンズを組み合わせたサブミクロンレベルのフィードバック精度を備えた高精度なアライメント装置を備えています。モーター式プレスは、マスク/マスクホルダーとウェーハ/ホルダーの間に最大圧力3。2kgの制御圧力を供給します。これにより、正確で反復可能な露出が保証されます。顕微鏡の対物レンズは、ウェーハ上のパターン化されたマスクの正確なアライメントと露出を可能にします。工具サイズは8インチ、最大ウエハサイズは8インチ、最大パターン露出は4ミクロンです。適切な光学系を使用すると、サブミクロン分解能パターンを達成できます。露出プロセス全体が完全に自動化され、高度なソフトウェア・システムによって制御されます。このソフトウェアは、フォトリソグラフィを管理するプロセスを簡素化するように設計されています。露光時間、アライメント、フォーカス、圧力などのパラメータを制御するための直感的なプラットフォームをユーザーに提供します。ソフトウェアインターフェイスを使用することで、ユーザーは実験のセットアップと実行、露出設定の変更、レポートの生成をすばやく行うことができます。KARL SUSS MA8/ BA8は、高度な安全機能も備えています。キャビネット内に排気ユニットを内蔵し、リソグラフィ工程で発生する有害粒子を除去します。また、紫外線への暴露からユーザーを保護する2つの安全シャッターが内蔵されています。さらに、緊急停止ボタンを使用して、緊急時の露出をすばやく止めることができます。全体として、KARL SUSS MA8/ BA8は、高品質のサブミクロンパターンを生成するための優れたデバイスです。正確なアライメントマシンと自動化されたソフトウェアにより、さまざまな作業に理想的なマスクアライナーとなります。