中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen3 #293814073 を販売中

ID: 293814073
ヴィンテージ: 2017
Mask aligner 2017 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3は、ウェーハおよびフラットパネルの製造に使用される高度なマスクアライナーです。電動回転段と自動化された精密アライメントシステムを標準装備した統合機器です。高いスループットを維持しながら、優れたアライメント精度と再現性を実現するために最適化されています。MICROTEC MA8BA8-GEN3は、特定のアプリケーション用にユニットを構成するための幅広いオプションを提供しています。このマシンは、精密ステージ、コンタクトアライナー、2つのチャック、2つのアライメント目標で構成されています。精密ステージにより、ウェーハまたはフラットパネルをツールに配置する際の正確かつ自由な移動と、モーター付き回転テーブルによるウェーハまたはフラットパネルの正確で反復可能なアライメントが可能です。コンタクトアライナーは、チャックとアライメントの目的を保持し、2つの高精細イメージングチャネルを備え、並列で動作し、高スループットで優れた精度と安定性を達成するために同期します。このチャックは、ウェハまたはフラットパネルに均一で剛性のあるプラットフォームを提供し、ウェハまたはフラットパネルが電気機械および空気圧部品によって適切に位置に保持されるように調整可能な接触力を備えています。精密ステージ、コンタクトアライナー、チャックの組み合わせにより、アセットはサブミクロンのアライメント精度と再現性を実現し、最大4つのポジションを同時に組み合わせて、正確かつ迅速にアライメントを実行できます。さらに、最大720°の回転を可能にし、より柔軟な位置決めが可能です。このモデルは、石英、ガラス、結晶材料、セラミックスなど、複数の種類の基板を処理する機能を備えています。この2つの目的は、近赤外線、可視および紫外スペクトルでの高分解能イメージングを可能にする。KARL SUSS MA 8/BA 8 GEN 3は、高度なウェーハとフラットパネルの生産に非常に貴重なツールです。高いスループットを維持しながら、優れた精度と再現性を提供し、特定の用途に合わせた幅広いオプションを提供します。
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