中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen3 #293800513 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3は、製造中のウェーハを迅速かつ正確に露出するために使用される完全自動マスクアライナーです。このユニットは、スループットスピナー、正確なパターン登録装置、および高性能ポリイミドレジストシステムで構成されています。MICROTEC MA8BA8-GEN3のスループットスピナーは、1時間あたり最大8個のスループットレートで迅速な処理が可能です。スピナーは、高精度のスピードコントロールユニットを使用して、安定した信頼性の高い露出を保証します。さらに、スピナーは、特許取得済みの3Dオートフォーカス機能により、焦点の深さを正確に制御することができます。また、基板上の重要な位置誤差を追跡および修正するフィデューシャルトラッキングマシンも含まれています。KARL SUSS MA 8/BA 8 GEN 3のパターン登録ツールは、ウェハ上のファインパターンを迅速かつ完全に登録するために設計されています。このユニットには、エッジ検出アセットとイメージステッチバックキャプチャモデルが装備されており、高精度なアライメント性能を獲得しています。さらに、高解像度ズーム光学のスイートは、品質アライメントを確保するためにパターンの正確な精査を可能にします。MICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3のポリイミドレジスト装置は、さまざまなレジストと基板を備えたウェーハの露出用に設計されています。このユニットには、強度、露光面積、解像度など、さまざまな可変露光パラメータが装備されているため、アプリケーションの柔軟性が高くなります。また、残留大気粒子汚染を正確に制御する高度な汚染制御システムを備えています。MA8BA8-GEN3は、さまざまな基板の高精度パターンアライメントとレジストの生産実行のために設計された、費用対効果の高い信頼性の高いマスクアライナーです。スループットスピナーにより迅速な処理が可能であり、正確なパターン登録とポリイミドレジストシステムにより、繊細なパターンの品質アライメントが保証されます。最後に、このユニットには、プロセスの均一性を向上させるための高度な汚染制御ユニットも含まれています。