中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen3 #293633676 を販売中

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ID: 293633676
ヴィンテージ: 2014
Mask aligner Process: Litho 2014 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3マスクアライナーは、集積回路やその他のマイクロエレクトロニクス構造を高精度かつ高精度に製造するために使用される高度なフォトリソグラフィ装置です。このマスクアライナーは、最新のフォトリソグラフィ用途の要求に応えるために、低粒子放出、高生産性、および信頼性の高い動作を備えています。MICROTEC MA8BA8-GEN3マスクアライナーは、高解像度の半自動リニアステージを備えており、手動調整なしで正確なアラインメントが可能です。また、さまざまな基板に対応できる広いマシンスペース(190 mm x 290 mm)を備えています。MICROTECマスクアライナーは、長寿命ランプ、調整可能なフォーカスと露出時間、および0.25µmの露出精度で設計されています。アライナーの光学機器は、非常に正確なパターン登録を保証するために、最大2ミクロンの非常に高い解像度を持っています。KARL SUSS MA 8/BA 8 GEN 3マスクアライナーは、直感的なソフトウェアコントロールアライメントシステムも提供しています。アライナーには、従来のシングルステップ、ダブルステップ、サブミクロン露出機能の3つの露出モードと、露出精度と再現性に優れた露出制御が含まれています。MICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3マスクアライナーには、最大8つのウエハー(8インチ以下)に対応できる自動ウェハハンドリングユニットが装備されています。自動化された機械はまた生産性を高めるために10枚のマスクの部分を一度に処理できます。これらの機能を組み合わせて、高速かつ正確なフォトリソグラフィ結果をユーザーに提供します。最後に、信頼性を高め、摩耗を減らすために、MA 8/BA 8 Gen3マスクアライナーにはメンテナンス追跡機が装備されています。このツールを使用すると、コンポーネントを監視し、パフォーマンスを測定し、予防保全タスクをチェックすることができます。このメンテナンス追跡資産は、マスクアライナーがその最大効率で実行されていることを保証し、信頼性の高い操作と優れた結果を保証します。
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