中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen3 #293609808 を販売中
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ID: 293609808
Mask aligner
Movement range mask aligner mode: X +/-5.0mm, Y +/- 5.0mm, Theta +/-5°
Movement range bond aligner mode: X +/-3.0mm, Y +/- 3.0mm, Theta +/-3°
Zero position:
Machine base frame: Mechanical, pneumatic, electrical 230V 50/60Hz
Joystick X/Y- and THETA for alignment stage control
TSA Microscope stage with manual / Motorized X-Y-manipulator and rotation
Integrated microscope tilt
BA function:
Manual loading and unloading
PLC Control with LCD display
WINDOWS GUI
Wafer 3" up to 200 mm diameter for bond application
Operator manual
For BSA microscopes with working distance 33mm
Adaption kit Included for constant dose exposure mode
Implemented tooling rack for tooling storage
Qty / Part number / Description
(1) / G206986 / Mask and bond aligner
(1) / 100002005 / Pneumatic expansion kit (BA/UV-NIL/SCIL/SMILE)
(1) / G207694 / Housing TSA/BSA
(1) / 100002830 / Alignment stage WD-33/MOT/A-200
(1) / G207720 / Operation desk mot
(1) / G206685 / M608 Microscope lift mot
(1) / 100000786 / M608 Visual / Screen splitfield microscope / AL400
(2) / G156881 / Turret
(2) / G145984 / Single objective umpl FL 5X/0.15
(1) / G206017 / Exposure unit LH1000
(1) / G179183 / Lamp adapter LH1000/1000W
(1) / G202518 / Lamp power supply unit cic 1200/LH1000
(1) / G206080 / OPTICS UV400/HR/W-200/LH1500
(1) / G206829 / 2 Channels light-sensor 365/405NMFORCIC
(1) / 100018553 / Adapter system for maskholder
(1) / 100008204 / Mask holder
(1) / 100020052 / Mask holder BL/PROX/CONT/M-7-9/W-150.
KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3は、フォトリソグラフィ用途向けの高精度、高精度マスクアライナーです。マスクアライメント、ウェーハ露出、リフトオフプロセスを行い、主に精密マイクロ回路やフォトリソグラフィーマスクの製造を行っています。MICROTEC MA8BA8-GEN3マスクアライナーは、2軸マイクロドライブを搭載し、高密度アラインメントであっても、時間や労力を犠牲にすることなく、最高の精度、精度、精度を提供することができます。KARL SUSS MA 8/BA 8 GEN 3は最大8ミクロンの解像度で、自動整列登録や高度なフォーカス制御などの高度な機能を備えています。さらに、マスクアライナーは無人であり、高精度の位置決めを保証するために光学アライメントを備えています。このデバイスは、最適化された薄膜ガラス処理機構を備え、薄膜などの特殊材料をサポートしています。さらに、可変アライメント速度と角度調整により、カールSUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3はサイクルタイムを短縮し、フォーカスのばらつきを防ぐことができます。補正の目的とその先に、マスクアライナーの最適化とトラブルシューティングに役立つ一連のグラフィックユーザーインターフェイスが紹介されています。これには、事前およびプロセス中に正確なアライメント結果を確保するためのグラフィックシミュレーション機能が含まれます。さらに高精度を確保するために、カールサスマスクアライナーMA8BA8-GEN3、非接触深度測定システムを含む複数の検査および校正位置もサポートしています。最大6台のCCDカメラに対応可能なMICROTEC MA 8/BA 8 GEN 3は、バッチ処理またはシングルウェハアプリケーションに適しています。また、レーザーアライメントを強化するための低熱分散を備えたタレット搭載ビューポートと、簡単なアライメントのための回転ジョイスティックを備えています。マスクアライナーはMICROTEC SuperMultiDriveソフトウェアを搭載しており、すべての標準的なサーマル、eビーム、光学リソグラフィーシステムと互換性があります。MICROTEC MA 8/BA 8 Gen3マスクアライナーは、比類のない精度と精度で、フォトマスクとウェハ露光の両方に優れたリソグラフィ結果を提供します。優れたウェーハ処理能力を提供するこのデバイスは、あらゆるマイクロエレクトロニクス施設にとって不可欠なツールです。
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