中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 8 Gen 2 #293652018 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 8 Gen2は、フォトリソグラフィープロセスに高解像度と高精度を提供する高度なアライメントと露出ツールです。これにより、ウェーハベースのアプリケーションでは、単層プロセスと複数層プロセスの両方が可能になります。この装置は、中量から大量の生産要件に対応する完全なソリューションを提供します。MICROTEC MA 8/BA 8 Gen2は、単一の光源からクワッド光源まで、複数の露光源を統合するオプションで、高スループット機能を提供します。これは、高速な位置オーバーレイと露光時間の最適化をサポートしています。高精度の6軸マスクと基板アライナーを搭載し、高精度なオーバーレイを実現し、高解像度アライメントを実現します。また、非接触レジストと基板温度制御により、最適な結果を得ることができます。最大270 mmまでの様々なマスクや基板に対応でき、3軸で最大5 μ mの高い位置登録精度を実現しています。このユニットは、複数のクランプ位置を持つ交換可能なマスクホルダーのオプションで、2「から9」までのマスクサイズをサポートしています。このマシンは、デュアルビームアライメントユニットと内蔵のウェーハナビゲーションコンパスを備えた、包括的なプロセス制御を内蔵しています。オプティカルフォーカスと固定視野のアライメントの両方、および完全に自動化されたマスクアライメントと露出サイクルをサポートします。このツールの高度なターゲティングは、露出された各画像の登録精度を高精度で検証します。KARL SUSS MA 8/BA 8 Gen2は、堅牢で信頼性の高い操作用に設計されており、ユーザーエクスペリエンスを向上させます。広い温度範囲、湿度制御、クリーンエアのオプションなど、広範な環境制御を備えており、ウエハ処理に最適な作業環境を構築しています。全体として、MA 8/BA 8 Gen2は汎用性の高い高性能マスクアライナーで、幅広い用途に優れた精度と精度を提供します。低容量と高容量の両方の生産要件を満たす柔軟性があり、超精密部品の信頼性の高い生産を可能にします。