中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 8 / BA 6 #9262949 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 8/BA 6マスクアライナーは、マスク加工用の汎用性の高い自動ウェーハステッパーです。この装置は、特許取得済みの光学アライメントアルゴリズムとダブルCCDアライメントシステムを使用して、ウェーハとマスクの正確なアライメントを保証します。MICROTEC MA-8/ BA6は、6 µmまでの正確なアライメントを保証するために、広い視野と高品質の光学系を備えています。表面非平坦を含むウェーハ/マスクのずれを修正できます。2〜8インチのウェーハに対応し、0.5µm範囲まで露出することができ、高解像度マスク製作に適しています。このユニットはまた、優れたパターン配置精度とアライメント再現性を可能にする電動XYおよびZ軸の機能を備えています。また、レーザーアライメントによるマスクやウェーハの損傷を防ぐダイオード保護機能も備えています。この機能により、露出前にマスクの位置を正確に調整することができ、アライメントプロセスで優れた精度と精度を保証します。さらに、KARL SUSS MA-8/ BA-6はコンパクトなフットプリントを備え、露出制御と再現性に優れた強力な自動オープンループ制御機を備えています。蒸気角度やレチクルパターンサイズ、線量のリアルタイム監視などの画期的な露出パラメータは、露出中に調整して監視することができます。MA 8/BA 6は、低消費電力と自動メンテナンス要件により、低コストを誇っています。また、Mask Alignerは、高速でトラブルのない操作のための直感的なグラフィックメニューを備えた強化されたユーザーインターフェイスを備えています。ネットワーク接続を容易にし、リモートメンテナンスとサポートを可能にするために、組み込み高速イーサネットポートが利用可能です。この機能は、安全なリアルタイム接続を確保しながら、リモート操作とメンテナンスを容易にします。全体として、KARL SUSS MA 8/BA 6マスクアライナーは、正確で効率的なマスク製作のために設計された信頼性の高い正確な自動マスクアライナーです。パフォーマンス、機能、柔軟性の優れた組み合わせにより、ユーザーはコストと労力を最小限に抑えて高性能マスクアライメントを提供できます。