中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 760 #293637680 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 760は、プラズマエッチングおよびフォトレジストコーティングされたウェハ露出用に設計された、コンピューター制御の光学投影ベースのマスクアライナーです。マスキングと計測の両方のアプリケーションに適しており、市場で最も先進的な自動露光システムの1つです。MICROTEC MA 760は、露光クリティカルなリソグラフィープロセスのための優れたアライメント精度と高度なオートメーションを提供します。レーザー干渉ステージ、デュアル高画素密度カメラ、高速処理システム、洗練されたHDプロセッサを備えています。強力な露光システムのopto-mechanicalサブシステムは、最高レベルの精度、再現性、およびスループットをユーザーに提供します。KARL SUSS MA 760の高解像度カメラと10：1プロジェクションオプティクスにより、2ミクロン以上のアライメント精度と優れたエッジ配置性能を実現します。HDRi （High Dynamic Range Imaging）を搭載し、エッジとトポグラフィの認識を向上させ、2台のインナーラインスキャンカメラが通常のフォトマスクを超えてより詳細なエッジの微妙な特性を検出します。MA 760は、幅広い基板サイズと形状を加工することができ、手動で介入することなく基板を自動的にロード、整列、露出することができるセキュアエッジハンドリングシステムを備えています。また、広い領域にわたって優れたスルーウェーハの均一性を提供することができます。包括的なプロセス制御とデータ分析を提供するユーザーフレンドリーなソフトウェアと、包括的な一連のプロセス監視および制御アルゴリズムは、最小限の介入と使いやすさを保証します。また、ウェーハバイウェーハデータのトレーサビリティやレポートのエクスポートなど、自動データロギングや高度なレポート機能も提供しています。KARL SUSS/MICROTEC MA 760は、堅牢な構造と安定した操作により、信頼性が高く、長持ちし、メンテナンスが容易です。クラス1000のクリーンルーム規定は、製品寿命中に機器が適度なメンテナンスのみを必要とすることを確認します。これらのすべての機能により、このマシンはフォトリソグラフィーアプリケーションを要求するのに最適です。