中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9375851 を販売中

ID: 9375851
ウェーハサイズ: 6"
Mask aligner, 6" Substrate size: 6″ x 6″ Pieces down to 5 x 5 mm Mask size SEMI: Standard up to 7″ x 7″ Expsoure optics:: Wavelength range: UV400 350: 450 nm UV300 280: 350 nm UV250 240: 260 nm Exposure source: Hg lamp Power: 200 -1000 W HgXe lamp Power: 500 W Intensity uniformity: ± 5 % MO Exposure optics: ± 2.5 % Alignment stage: Movement range X: ± 10 mm Y: ± 5 mm θ: ± 5° Mechanical accuracy: 0.1 μm (step size).
KARL SUSS/MICROTEC MA 6マスクアライナーは、半導体基板にフォトレジストを精密に適用するために使用される高度な光学機器です。ナノメートルの精度と再現性を備えたフォトレジスト半導体にレチクルを配置することができます。このシステムは、ミラーとレンズを使用して基板に光を投影し、光と暗い領域のパターンを作成することによって動作します。これは、充電結合デバイス(CCD)カメラで検出され、画像を解析してパターンを基板に合わせます。MICROTEC MA6は、ケイ素、ヒ素ガリウム、多結晶ダイヤモンド、石英などのガラスのような多くの基板材料と互換性があるように設計されています。また、作動距離を拡大するためのファンビーム照明、高精度な位置決めのための高解像度および高出力レーザー、パターンマッチング精度を向上させるためのデュアルビーム露光などの機能を備えています。重要なコンポーネントに加えて、KARL SUSS MA-6には、さまざまなアプリケーションに合わせてカスタマイズできる他にも多くの便利な機能があります。これらには、焦点外の状態を検出して自動補正する機能、マスク補正とイメージシフトの調整、マスク登録データのメモリストレージ、要素間の複雑なスペースを処理するためのマルチエクスポージャー・モードなどがあります。KARL SUSS/MICROTEC MA6には独自の光学ブレッドボードがあり、振動を低減し、同時に光元素のアライメントを可能にします。KARL SUSS MA 6は、信頼性と高精度のアライメントを確保するために、スキャンサイズやパターンの再現性など、ソフトウェア制御のアライメントパラメータを複数備えています。このユニットは、並列処理、グリッド、シャドウ、レイアウト全体の4つの異なるアライメントアプローチを可能にします。これらのすべての機能が連携して、高速で高精度で再現性のあるアライメント結果を提供します。KARL SUSS/MICROTEC MA-6は、マイクロエレクトロニクスからバイオメディカルまで幅広い用途に対応しています。フォトリソグラフィ、ガラス食品、飲料ボトル装飾、薄膜太陽電池加工、マシンビジョン、半導体ウェーハ加工など、多くの産業で使用されています。マイクロレンズ、レンズ、成形品など様々な部品の製造にも使用されています。全体として、半導体基板MA-6フォトレジストを正確にパターニングするための理想的なツールです。それはさまざまな適用に合わせることを可能にする先端技術および特徴が装備されていて、反復可能で、正確な結果を提供します。それは世界中の多数の企業で使用される信頼でき、非常に有効な機械です。
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