中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9286934 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、フォトリソグラフィ用の完全自動化された高精度の接触型アライメント装置です。半導体加工用に設計されており、サブミクロン精度でウェハレベルのマスク層を整列およびパターン化するために使用できます。このシステムは、正確な位置決めと測定のための最先端のXYZアライメントステージを備えています。MICROTEC MA6は、マスクとウェーハアライメントのために最大700倍の視野を持つ25倍の欠陥検査用の視覚顕微鏡を搭載し、マスク装填用の2つの独立した12ステーションのマガジンシステムを備えています。この顕微鏡は、アライメント、プロセス検査、表面計測、およびウェーハ計測に使用できます。KARL SUSS MA-6には、3つのキューブコーナーリフレクターを備えたダイレクトビューイメージングがあり、ウェーハに対してマスクの正確な位置を検証および特定します。スキャン電子ビームイメージング、i-line露出、メモリ駆動のデータ管理を使用して、詳細なプロセス情報を保存できます。ユニットは完全に自動化されており、メインコントロールソフトウェアは最大59のプロセスステップを制御できます。基本的なKARL SUSS/MICROTEC MA-6機には、マスクアライメントステージ、ウェーファー用サンプルステージ、マスクアライメントセンサー、光源、専用マスクアライメントソフトウェア、アライメント検出サブシステムの2セットがあります。内蔵の計測サブシステムにより、ウェハマスクのアライメントを正確に測定できます。また、ユーザーフレンドリーなグラフィックインターフェイスと、追加のオートメーションとエンジニアリングオプションを備えています。MICROTEC MA 6ツールは、フォトマスク製造、MEMS製造、3D集積回路、マイクロ流体デバイス製造など、さまざまな半導体技術に使用されています。ラピッドプロトタイピング、小規模生産、大量生産で高い歩留まりを達成するために使用することができます。アセットの精度と速度により、さまざまな半導体加工ニーズに最適です。