中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9281940 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、マイクロエレクトロニクスおよび半導体生産におけるフォトマスクの製造およびアライメントに使用されるマスクアライナーです。アライナーは、完璧なアライメントを確保しつつ、フォトマスクの機能を基板またはウェーハに整列および転送するために使用される完全に自動化されたマシンです。高度なマシンは、レーザー干渉計ベースの計測を備えており、転送およびアライメントプロセス中に信じられないほどの精度を可能にします。MICROTEC MA6は、高精度の電動ステージ、真空真空チャック、計測カメラ、投影装置など、いくつかのコンポーネントで構成されています。KARL SUSS MA-6の電動ステージは0。5ミクロンの精密動作が可能で、振動防止サスペンションシステムを備え、真空チャックは吸引によってウェーハを固定します。計測カメラはマスクとウェーハのずれを測定するために使用され、投影ユニットはマスクからウェーハにパターンを転送するために使用されます。MA 6は、300ナノメートルの精度で任意のフォトマスクを製造することができます。さらに、高度なパターン認識技術により、最も複雑なパターンでも容易に識別および複製することができます。この技術は、KARL SUSS/MICROTEC MA6の高度なプロジェクションツールと相まって、マスクとウェーハ間のパターンを0。1ミクロン±まで正確にアライメントおよび転送することができます。KARL SUSS MA6は、自動参照点認識も備えており、最も困難な場合でも完璧なアライメントを保証します。さらに、最大1000個のレシピを保存できるため、複数のプロセスジョブの迅速なセットアップと操作が可能です。KARL SUSS MA 6には、微小構造の高精度なアライメントと操作のためのオプションのマイクロマニピュレータもあります。MA-6は、高品質の集積回路の製造のために半導体業界で広く使用されている高度なツールです。KARL SUSS/MICROTEC MA-6は、高い精度と高度なパターン認識により、フォトマスク製造の業界標準となっています。