中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9257127 を販売中

MICROTEC/MICROMASK KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、精密リソグラフィ工程中にフォトマスクや各種基板を露光するための最先端の精密マスクアライナーです。これは、トランジスタ、抵抗、コンデンサなどの集積回路部品の製造のための実験室や産業用アプリケーションでの使用に最適です。MICROTEC MA6は、微調整された自動システムを使用して動作し、フォトリソグラフィック露光プロセスの精度と汎用性を保証します。6インチ正方形のプログラム可能な露出領域を持ち、中規模から大規模集積回路（IC）の設計と製造に適しています。波長193〜248nmのUVランプを搭載し、幅広い素材への露光を可能にします。KARL SUSS MA-6の設計により、露出しているデバイスまたは基板上にマスクを正確かつ再現可能に配置できます。この精度は、ミクロおよびマクロスコープのアライメント、オートフォーカスシステム、統合ビジョンシステムなど、いくつかの革新的なメカニズムによって可能になります。これらのメカニズムは、露光プロセス中に望ましい設計を基板に正確に揃えることができ、望ましい露光結果が一貫して達成されることを保証します。MA6には、リフトオフや2光子直接露出など、さまざまな露出オプションもあります。2光子直接露光方式は、コンタクトプリントを必要とせずに大型フォトマスクや小型基板を露出させることができるため、高解像度パターンに最適です。KARL SUSS/MICROTEC MA-6は、深紫外線（DUV）および超高エネルギー（UHE）照射も可能です。さらに、MICROTEC MA 6は、さまざまな化学および厚さのフォトレジストと互換性があり、特定のデバイスまたは基板の正確な露出要件に関しては、ユーザーに完全な柔軟性を提供します。つまり、MA-6は高度で信頼性の高いユーザーフレンドリーなマスクアライナーツールです。精密なアライメントと露出機能、洗練された自動化されたシステムは、すべての精密リソグラフィーのニーズに最適なツールです。