中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9250075 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、コンピューター制御の高精度マスクアライナーです。このデバイスは、微細加工用途のためのシリコンウェーハやその他の薄膜などの基板に光のパターンを転送するために使用されます。6メガピクセルカメラと高精度のステッピングモータを使用して、元のマスクからパターンを正確に位置合わせし、高い再現性で基板に転送します。このデバイスは、22mm x 22mmの視野と最大10マイクロメートルの画像解像度を備えています。さらに、可変動作距離光学系は、4Xから100Xまでの範囲の拡大を可能にします。MICROTEC MA6は、4軸制御と0.6Aステッピングモータを使用して、パターンを正確に微調整することができます。このツールには、基板を配置するための2つのステージと、マスクを保持および取り付けするための2つのステージも含まれています。KARL SUSS MA-6は、厚さ8mmまでの基板加工が可能です。このデバイスは、焦点距離と均一な露出を確保するために最適化された焦点制御を備えています。さらに、マスクの自動露出を可能にするAEOMシステムを搭載し、最適な結果を得るために強度とタイミングを調整する機能を備えています。MICROTEC MA-6は、帯電防止システム、緊急電源遮断、温度警告システムなど、いくつかの安全機能も提供しています。このデバイスには、最小限のトレーニングで操作できる直感的なユーザーインターフェイスがさらに装備されているため、あらゆる実験室環境での使用に適しています。要約すると、MA-6は正確で反復可能なファインアライメント結果を提供する高度なマスクアライナーです。幅広い安全機能を備えており、どのようなラボ環境でも安心してご利用いただけます。このデバイスは微細加工アプリケーションに適しており、精度、速度、および信頼性の優れた組み合わせを提供します。