中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9242865 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、リソグラフィ分野で使用される最先端のマスクアライナーです。独自の高性能光学装置と高精度な機械アライメントシステムを組み合わせ、スループットやプロセスの信頼性を損なうことなく高精度を提供します。このユニットは、レーザーダイレクトイメージングだけでなく、液浸リソグラフィやソフトマスクリソグラフィにも適しています。ウェーハとレチクルの全自動アライメントにより、アライメントプロセスの精度と再現性が保証されます。MICROTEC MA6の光学機器は、大型視野カメラ、画像回転ツール、長時間動作距離顕微鏡の3つの主要部品で構成されています。カメラは、マスク全体の高解像度画像をキャプチャし、マスクに基板を正確にアライメントするための画像回転アセットと結合します。顕微鏡は、サブミクロン分解能で関心の小さな領域をイメージします。光学モデルは広い視野を提供し、高解像度を維持しながら正確なアライメントと短いアライメント時間を可能にします。また、オーバーレイ測定も可能で、アライメントパラメータの微調整が可能です。メカニカルアライメントシステムは、ウェーハの位置決めを正確に制御します。ユニークな6軸アライメントステージを採用し、基板を3次元で正確に配置できます。マスクに関連してウェーハを正確に配置するために、動作範囲を最適化します。さらに、ウェーハの正確な回転アライメントと傾き補正のためのドブテールツールを内蔵しています。KARL SUSS MA-6は、大量生産環境向けに設計されており、優れたアライメント精度とスループットを提供します。この資産は、計測および品質保証アプリケーションに最適であり、レチクル評価とプロセス最適化のための正確な測定を提供します。高度な光学システムと機械システムを組み合わせることで、あらゆるタイプのアプリケーションに迅速かつ正確で再現性のある結果を提供できます。