中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9230018 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、ウェハレベルのフォトリソグラフィ用に設計されたマイクロエレクトロニクスマスクアライナーです。投影イメージングの原理に基づいて動作する完全自動化された機器です。このデバイスは、フォトマスクの光学的イメージをコーティングまたはコーティングされていない基板に合わせて公開し、基板上のフォトリソグラフィーパターンを製造します。MICROTEC MA6には、フォトマスクを取り扱うための機械制御されたマスクステージが含まれています。また、基板をx、 y、 z方向に自動的に移動するウェハステージも含まれています。KARL SUSS MA-6は、スピンおよびリニア接触露光の両方で、直径150 mmまでの基板に対応します。マスクステージは、マスクと基板の正確なアライメントのために調整可能なx、 y、 zアライメントを備えています。KARL SUSS MA 6は、半導体技術に一般的に使用される最大解像度0。5um、ディスプレイおよびセンサ用途に使用される最小機能サイズ1。0umを備えています。露出エネルギー範囲は0。15mJ〜3。2mJで、精度は0。15mJです。液体窒素冷却ビームステアリングシステムにより、正確なアライメントと露出を可能にします。この装置は、低コストのサブハーフミクロンイメージングを提供するように設計されています。MA6は、内側の層のマーキングを可能にするオプションのI-lineマシンも備えています。作り付けのフリッパーはすべての光学部品の完全なクリーニングを保障します。付属のマルチレイヤユニットにより、1つの露出で複数のレイヤーを生産できます。プログラム可能な動的アライメントにより、アライメントマークを正確かつ再現可能に配置できます。ソフトウェアは、適切なアライメントを確保するために、目的のマスクと基板を調整します。MA 6には、フォトレジストのドライエッチング用の統合エッチングと、アンダーカットのフォトレジストを除去するためのウェットエッチングオプションも含まれています。再現性が高く、精度は0。05％です。また、ウェーハステージの冷却を統合して寿命を延ばし、高精度のイメージングを可能にします。このインストゥルメントは、GUIを備えた使いやすく、完全に自動化されたユーザーインターフェイスを提供します。それはすべての主要な安全および排出の標準に迎合的であるように設計されています。KARL SUSS/MICROTEC MA-6は、試作、中小量生産、研究開発に最適です。