中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9229809 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、高精度で集積回路を製造するために使用されるマスクアライナー機です。フォトマスクを半導体ウェーハに正確に整列・パターン化する自動化装置です。半導体部品の製造工程で使用される先端技術です。MICROTEC MA6は、6ミクロン分解能の6インチ円アライメントシステムを備えています。自動化されたアライメントユニットを使用して、フォトマスクの位置を正確に調整します。直径6インチ、高精度5軸モーションコントロール、フォトマスクのアライメントとパターンを監視するための3D顕微鏡を内蔵しています。KARL SUSS MA-6は、最大2,000ライン/秒のスキャン速度と5ミクロン未満の線幅分解能でウェーハを露出できる高精度、高速露出ツールを備えています。露出アセットには、フォトレジスト検査およびアライメントシステムの自動化、露出強度の自動最適化、パターニング精度と均一性も含まれています。MICROTEC MA 6は、マルチマスクフォトリソグラフィ用に特別に設計された高精度のトラックモデルを備えています。トラック装置は露出プロセスの最高精度を保障するために速い段階の動きおよび均質な温度の配分を提供します。KARL SUSS MA6には、さまざまなアプリケーションにカスタマイズできる高度なソフトウェアパッケージもあります。ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、ネットワーク経由のデータ入力と出力、将来の実行のための設定を保存する機能を備えています。KARL SUSS/MICROTEC MA-6は、集積回路の製造に使用される高度なマスクアライナー機です。フォトマスクを半導体ウェーハに正確に合わせてパターン化することができ、6ミクロン分解能の6インチ円アライメントシステム、高精度の5軸モーションコントロール、高精度、高速露出ユニット、および高度なソフトウェアパッケージを提供します。KARL SUSS MA 6は、集積回路の製造プロセスにおいて最高の精度と精度を提供します。