中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9188997 を販売中
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KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、産業用マイクロストラクチャーのハイスループット製造を容易にするように設計された洗練されたマスクアライナーです。マスクアライナーは、金属、金属酸化物、金属半導体の蒸着構造を有する基板の製造や、透明な金属酸化物構造などの光学基板の製造に使用されます。マスクアライナーは、アライナーとステッパーの2つのセクションで構成されています。マスクアライナーは、正確な自動アライメント装置(AAS)を使用して、優れたアライメント精度を実現します。このシステムの特徴は、基板にアライメントするためのマスクの自動補間と自動傾斜と倍率機能です。これにより、オフ軸と大判基板のアライメントが可能になります。アライナーを使用してマスクを基板に整列させ、ステッパーを使用してリソグラフィ処理を開始します。このプロセスは「マスク露出」と呼ばれ、基板内のリトロ構造を露出するために焦点を当てた光子のビームを使用します。露出時間は調整可能で、露出寸法を非常に正確に制御できます。MICROTEC MA6は、サブミクロンの正確な自動ジャンプ型基板アライメント(JA)で使用することもでき、基板のアライメントは2mmにもなります。KARL SUSS MA-6には光学ビームモニタリングユニットも装備されており、アライメントプロセスが正しく、人間の干渉を最小限に抑えることができます。このモニタリングマシンは、露光時間や放射強度などの露光パラメータのフィードバックも提供します。最後に、KARL SUSS MA 6は、ユーザーインターフェイスに高品質の画像表示を提供することができ、マスクを基板に非常に正確に配置することができます。KARL SUSS/MICROTEC MA-6は、金属および光学基板の製造に広く使用されている最先端のマスクアライナーです。自動アライメントツールと豊富なフィードバックオプションにより、望ましい種類のマイクロストラクチャーを正確に生成できます。MA 6のすべてのコンポーネントは、品質と効率を念頭に置いて設計されており、マイクロストラクチャーを製造するときに可能な限り最良の結果を提供するように設計されています。
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