中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9179543 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、UVナノリソグラフィープロセスのマスクパターンアライメントに使用されるハイエンドマスクアライナーです。半導体製造・フォトマスク製造のためのツールです。6インチウエハにサブミクロンアライメント機能を提供し、マイクロエレクトロニクス部品の微細パターニングに使用されます。MICROTEC MA6は、4基のマスクオートフォーカスエンジンを搭載し、合計8基のオートフォーカスセンサーを搭載したユニークなビームスキャン装置を備えています。これらは、マスク上のパターンの自動再配置と修正に使用される高解像度の光学パターン認識を提供します。高解像度イメージングシステムは、マスク内の微細な歪みやピクセル解像度を0。3ミクロンまで検出することも可能です。このツールは、高いスループットと高速アライメント時間を提供するように設計されており、6インチウェーハのサイクルタイムは6分未満です。オンボードソフトウェアによって実現される自動アライメントと最適化により、ユーザーは高い歩留まりと精度を保証できます。ユニットは高度なレイアウト編集ソフトウェアとも互換性があります。このマシンは、既存のリソグラフィ環境に統合されるように設計されており、高スループットのアプリケーションに最大150ワットの電力を供給できる低電圧電源と高電圧電源の両方を備えています。さらに、電力は一定の抵抗と露出の均一性を確保するために調整可能であるため、アニール応答を厳密に制御することができます。KARL SUSS MA-6は、露光時間、露光面積、ビーム径の調整など、包括的なユーザーコントロールを提供します。さらに、タッチパッド制御により、フォーカス、アライメントエリア、ビームフォーマットを微調整できます。さらに、このツールには、パターンバリやレチクルの追加を可能にする追加機能が装備されています。MICROTEC MA 6は信頼性の高い正確なマスクアライナーです。幅広い機能を提供し、サブミクロンのアライメントと高スループットを実現する信頼性の高いツールをユーザーに提供します。MA 6は、フォトマスク製造工程や半導体製造など、さまざまなマスクパターニングのニーズに適しています。