中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9173487 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、ステッパーとしても知られるマスクアライナーです。主にフォトリソグラフィープロセスで使用され、放射線感受性物質のパターンを基板に正確に堆積させるために使用されます。MICROTEC MA6ステッパーは、ベース、ベースモジュール、真空チャック、パターンヘッドで構成されています。KARL SUSS MA-6のベースは、機械内のすべてのコンポーネントを収容します。x、 y、 z軸、プレートコントロールカード、制御キャビネット、ビジョン機器、システムを管理するための干渉計を保持します。ベースモジュールには、真空チャックと外部フロア上に配置されたウェーハリーリングの間の基板を輸送するために使用されるリフトテーブルが含まれています。真空チャックは、チャックプレートを貼り付けることができる複数の列で構成されています。これらには、加工またはアライメント用の基板を正確に固定するためのメカニカルピンとセンサーが含まれています。MA-6には、基本的にレーザー光源を持つロボットアームであるパターンヘッドも含まれています。レーザービームは、特殊なソフトウェアプログラムを介して材料に書き込まれた基板にパターンを堆積するために使用されます。KARL SUSS/MICROTEC MA6は、高精度のファインフォーカシングステップ許容量を備えており、設計仕様に従ってパターンを基板に正確に印刷することができます。また、パターンヘッドと基板のミクロンレベルのアライメント、ディスプレイモニターとイメージング機能を内蔵したビジョンユニット、基板を回転させる回転板、最先端の照明装置など、高度な機能を備えています。MA6により、1回の実行で複数の基板を処理でき、複数のパターンヘッドを使用して複数の基板を同時に露出させることができます。MICROTEC MA 6は、放射線感受性物質のパターンを基板に正確に堆積させるために使用されるフォトリソグラフィープロセスで一般的に使用されます。半導体デバイス製造、医療機器技術、フレキシブルエレクトロニクス、マイクロエレクトロニクス製品製造など幅広い用途に適しています。その画期的な技術的特徴と使いやすさは、フォトリソグラフィ施設にとって信頼性が高く経済的な選択肢です。