中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #9116715 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6はフォトリソグラフィープロセス用に設計されたマスクアライナーです。顕微鏡パターニング加工用の高信頼性・高精度なツールで、デバイス製造、ナノ加工、ダイレクトライティング、薄膜成膜に適しています。MICROTEC MA6の中心にあるのは、精密アライメント技術です。この機器は「自己整列装置」を使用して、オーバーハングとアンダーカットを迅速かつ正確に登録します。このシステムにより、ユーザーは10nmの再現可能な精度で目的のフィーチャー位置を正確に見つけることができます。マスクアライナーはマイクロプロセッサ制御で、簡単な操作とプログラミングが可能です。PA 6には、9。7 インチLCDパネルも装備されています。このパネルには、パターンデータとステージコントロールのパラメータ、およびアライナー設定が表示されます。さらに、オンサイトプリンタに別々に出力されるデータをレビューするための18インチモニターが付属しています。KARL SUSS MA-6は、効率的な露光光源を備えています。この光源は、紫外線から可視光から赤外線まで、幅広いスペクトルで制御可能な出力を提供します。この光源はまた、ウェーハ全体の露出の高い均一性を可能にします。マスクアライナーは、ユーザーがマスクのフィールド位置を表示、測定、および調整することができるフルフィールドオプティカルアライメントユニットを使用しています。このマシンは、ウェーハ全体に正確なオーバーレイアライメントを保証し、均一でない露出の可能性を低減します。KARL SUSS/MICROTEC MA6には、手動および自動化されたステージの選択を含むさまざまなステージおよびハンドリングシステムが装備されています。ステージは、ユーザーの最も適した要件に応じて手動または自動化されます。これらのステージの精度は10nmで、平均ステージ振動率は0.1µmです。MICROTEC MA-6は、精度、精度、信頼性をお探しの方に最適なソリューションです。マスクアライナーの柔軟性と機能により、多くのフォトリソグラフィープロセスの要求に応え、幅広い基板にわたって高品質のパターニングを提供します。