中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293626982 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、フラットパネルディスプレイ、光学、MEMSおよびその他の同様のアプリケーションのさまざまな製造プロセスで使用するように設計された高精度マスクアライナーです。この装置は、高精度のレーザーアライメントとビームオンセンサーを組み合わせた独自のアライメントシステムを使用して、正確な登録とアライメントを行います。MICROTEC MA6は、ソフトウェア駆動の光アライメントユニットを使用しており、幅広い操作にアクセスできます。高度なソフトウェアにより、マスクアライナーは、アライメントと測定をマスクするウェーハ、バイナリ光学ベール、パターン投影アライメントと補正など、いくつかの操作を実行するように設定できます。KARL SUSS MA-6には、マスクステージとウェハステージの2つのステージがあります。マスクステージは、最大50ミクロンの位置決めを備えた3つの独立したアクチュエータを提供します。ウェーハステージには高精度のXYZスキャンが搭載されており、最大Z移動距離は14mm、 XYスキャン範囲はそれぞれ15mmです。この機械は、X方向とY方向の5ミクロンまでのアライメント精度を提供することができます。また、KARL SUSS MA6には、調整可能な焦点と可変倍率を含む特許取得済みの対物レンズ設計が含まれています。これにより、マスク画像が基板に正確に集中することができます。安全性と利便性を高めるために、このツールには偶発的な暴露を防ぐための安全インターロック資産が含まれています。さらに、このモデルには、オペレータの疲労を軽減する人間工学的設計が含まれています。MICROTEC MA 6は、最新の光学および光機械工学のさまざまなコンポーネントを使用して、フラットパネルディスプレイ、MEMSおよびその他の同様のアプリケーションの信頼性と正確なアライメントと製造を提供します。この高精度なマスクアライナーは、信頼性、性能、寿命を考慮して設計されており、製造プロセスに不可欠なコンポーネントとなっています。