中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293623425 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、高度な半導体デバイスの製造用に設計された高精度で完全に自動化されたマスクアライナーです。基板ウエハ上で最大200mmまでのデバイスのアライメントと露出が可能です。このマイクロプロセッシングマシンは、洗練されたソフトウェアと光学およびモータ制御を使用して、基板に特徴とアライメントマークを正確に配置します。光学システムは、テレセントリックレンズ、アライメントビーム、ステージモーションで構成されています。モーター制御はXおよびY軸の動きを変えることができ、ステップ動きおよび連続的な動きの両方を組み込みます。機械のアライメント機能は、光学ビーム分割技術を使用することでさらに強化され、アライメントビームを複数のスポットに分割することができます。これにより、複数のスポットに配置マークとフィーチャーを同時に配置することができます。光学サブシステムも非常に正確で、最大1µmのアライメント精度を備えています。MICROTEC MA6は、光学、電子ビーム、X線リソグラフィなど、あらゆるレジスト露光技術を提供します。また、はんだボールや回路部品のアライメントにも使用できます。この機械の自動露出およびアライメント機能により、微細な基板であっても、精密なディテールが正確に印刷されます。KARL SUSS MA-6には、閉じたサーフェスやユーザーフレンドリーなオペレータインターフェイスなど、さまざまな安全機能も含まれています。さらに、このマシンにはワークパラメータを制御および監視するように設計されたソフトウェアパッケージが装備されています。このソフトウェアを使用すると、繰り返し可能なプロセスレシピを簡単に入力、記録、保存できます。最後に、MA6は信頼性が高く、世界中の生産ラインで成功した実績を持っているように設計されています。その頑丈なデザインと優れた性能により、高精度で大量の生産要件に最適です。