中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293600857 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、半導体業界のフォトリソグラフィ用途向けに設計された最先端のマスクアライナーです。精密マスキングとウェーハステージを組み合わせることができる高精度の自動アライメント装置と、微調整のための独自のスキャナを備えています。MICROTEC MA6は、すべての光学部品に非常に高い精度を提供し、要求の厳しいリソグラフィープロセスで優れた画像再現性を提供します。KARL SUSS MA-6のアライメントシステムは、精密マスキングステージと高精度ウェハステージの2種類のステージを組み合わせて、微細な位置決め精度を0.15µmすることができます。マスキングステージは、マスクとウェーハの優れたアライメントを実現するために、さまざまな100µmを備えた2つの5軸ピエゾアクチュエータを使用しています。高解像度スキャンヘッドは、マスクとウェーハのアライメントを0.3µm精度で実現するように設計されています。MA6には、リソグラフィ性能を最適化するための完全な制御ソフトウェアが含まれています。マスクとウェーハステージの両方の状態は常に監視され、複雑なリソグラフィープロセスに優れた信頼性を提供します。ソフトウェアは、アライメントプロセスのスクリプト作成や、特定のアプリケーションのユニットの最適化に使用できます。KARL SUSS/MICROTEC MA-6は、優れたリソグラフィ結果を得るための多くの高度な機能を備えています。高強度UVレーザーソースを備え、ウェーハの均一な露出を提供します。イメージングマシンには、光強度を測定するための高度なツールも含まれており、露出中のすべてのポイントに最適な露出レベルを保証します。さらに、マスクとウェーハのミクロンスケールのアライメントは、精密5軸ピエゾアクチュエータによって提供されます。KARL SUSS MA 6は、スクライビング、接触印刷、インクジェット印刷、フォトレジストリフロー処理など、幅広いリソグラフィ用途に適しています。アセットの高精度、高精度、汎用性の高い制御ソフトウェアは、高度なフォトリソグラフィに最適です。マスクとウェーハステージの適切な組み合わせにより、最新のリソグラフィープロセスの厳しい要求に対応するように、KARL SUSS MA6を設定できます。