中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #293592970 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、高精度のアライメントと登録のために設計された高度なマスクアライナーです。1サイクルで最大6基板の高精度アライメントを実現する自動レーザー装置を搭載しています。整列と登録の精度は、x、 y方向とz方向の1つのµmの両方で0.5µmされます。このシステムの精度は、高感度のウェーハエッジ認識機能の存在によってさらに助けられます。アライメントと登録プロセスは、基板上の一連のマーカーに5つの別々のレーザービームを連続的に発射することによって行われます。各マーカーは、必要な許容差を満たすように監視および修正され、選択した基板に正確に整列して結合されます。基板の積み降ろしを容易にするウェーハステージロボットユニットと、理想的な温度範囲に保つための熱機械を内蔵したMA6です。マスクアライナーは、自動レチクル交換と統合されたコントロールセンターを備えており、視覚的なインターフェイスとプロセスのリアルタイム監視を提供します。高度な設計により、レシピ間のパラメータを簡単かつ簡単に変更できるため、アライメントプロセスの柔軟性が拡張されます。KARL SUSS MA-6はまた、各基板の欠陥のないアライメントを保証する欠陥のレチクルをスキャンするためのビジョンツールを使用しています。MICROTEC MA 6は、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、フォトニクス、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）などの幅広い業界で使用できる信頼性の高いマスクアライナーです。アセット自体はほこり保護されており、大量のクラスタ構成から大規模なクラスタ構成まで、さまざまな本番環境で使用できます。クラスに優れた安定性と信頼性を提供し、高精度と再現性を必要とするアプリケーションに最適です。MA6は、高品質、高精度、再現性のある結果とのアライメントを実行できるため、精密な製造プロセスで微細構造部品を調整するための理想的なツールです。結論として、KARL SUSS/MICROTEC MA-6は、高精度アプリケーション向けに設計された高度なアライナーです。非常に自動化された信頼性の高いモデルにより、クラスに優れた安定性を備えた正確なアライメントと登録を提供できます。この装置はほこり保護されており、さまざまな生産環境や構成で動作するため、精密な製造プロセスに最適です。