中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 #131530 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6は、金属、ガラス、セラミックス、プラスチックなど、さまざまな材料の精密アライメントとフォトリソグラフィに使用するために設計されたマスクアライナーです。MICROTEC MA6は、電極成膜、フォトレジスト加工、BioMEMS微細加工用途に最適です。KARL SUSS MA-6は、高精度で自動化された画像アライメント装置を備えており、ほぼすべてのフォトレジストまたはポリマー基板に対して正確で反復可能なフォトリソグラフィーマスクのアラインメントを保証します。マスクアライナーは、マスキング構造と基板のオフセットを正確に測定できる高感度の光学登録システムも備えています。マスクを0。5マイクロメートル以内に正確に揃えることができます。MICROTEC MA 6はまた、高度なフォトレジスト加工技術の広い範囲を提供しています。これには、可変角度平行、可変方向平行、および可変焦点整列が含まれます。また、マスクアライナーは、広範囲の抵抗に対して線形および非線形抵抗制御を提供する自動感度制御マシンを備えています。統合ソフトウェアにより、フォトリソグラフィーサイクル中にプロセス時間、温度、およびその他のパラメータを監視および制御できます。カールサスMA 6は、高度なヒートシンク設計により優れた温度均一性を提供します。ヒートシンクは、基板表面に均等に加熱空気を循環させるように設計されています。これは、フォトリソグラフィ中に最適な効率と精度を確保するのに役立ちます。KARL SUSS/MICROTEC MA6には、人員、機器、および環境の安全を確保するための統合された安全機能も含まれています。これらの機能には、ライトカーテン、安全インターロック、エアフィルトレーションおよび真空絶縁バルブ、および保護シールドが含まれます。MICROTEC MA-6は、ほぼすべての材料を正確に整列およびリソグラフィするために使用できる汎用性の高いツールです。高精度な画像アライメントツール、高度なフォトレジスト加工技術、優れた温度均一性、さまざまな安全機能により、KARL SUSS MA6ほぼすべてのアプリケーションに最適です。