中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9378159 を販売中

KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6
ID: 9378159
ウェーハサイズ: 4"
Mask aligner, 4".
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6は、ウェーハリソグラフィ用の高精度マスクアライナーです。ステッピングスタイルの露出装置で構成され、顕微鏡目的に基づいたアライメントシステムを備えています。ステッピングスタイルの露出は、紫外線を使用し、ウェーハ表面の画像の制御パターンを提供します。アライメントユニットの目的は、ウェーハ加工用のマスクパターンの再現性と正確なアライメントを確保することです。MICROTEC MA6/BA6は、最適な性能を確保するために様々な技術を利用しています。光学顕微鏡目的を用いた自動アライメントマシン、ウェーハの均一性を確保するフラットネスモニター、ウェーハ表面にパターンを生成するマルチチャンネルパターンジェネレータ、サブミクロン精度のエッジ検出ツールを搭載しています。さらに、効率的なユーザー操作とウェーハへのパターン転送を可能にするために、KARL SUSS MA6/ BA6用に特別にいくつかのソフトウェアパッケージが開発されています。MICROTEC MA 6/BA 6は、さまざまな製造作業において高性能な要件を満たすように設計されています。このモデルは、集積回路、半導体部品、フラットパネルおよび自動車ディスプレイ用の部品の製造など、さまざまな用途に使用できます。超精密アライメントが可能で、0。5ミクロン以下の高精度を実現し、最大10ミクロン以下の再現性を実現しています。さらに、使いやすいソフトウェア機能は、さまざまなパターン作成方法をサポートし、自動アセットにより、無駄を最小限に抑えた高品質の基板の生産を可能にします。MICROTEC MA 6 BA 6は、精度と再現性を必要とする生産環境に最適なリソグラフィーツールです。高品質なアライメントとイメージングの精度と、効率的な設計とユーザーフレンドリーなソフトウェアを組み合わせて、効果的なウェーハ加工を実現します。広い温度範囲で動作するように設計されており、幅広い産業用途での再現可能なプロセスに適しています。さらに、高精度で生産工程における層の正確な配置を保証し、高品質な製品を生産することができます。
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