中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9266620 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6は、生産および研究アプリケーション向けに一貫した高解像度の結果を効率的に生成するように設計されたハイエンドマスクアライナーです。機械は、特許取得済みの機械レンズ設計とステッピングモーター制御システムに基づいています。MA 6は、固定要素のない光学設計を利用して、オーバーレイ精度とアライメント精度のための最も厳しい要件に対処することができます。ステッピングモーターは動きシステムを設計しました滑らかな、静かな操作を保障し、手動からコンピュータ制御されたオートメーションに容易に交換可能です。MA 6は、94mmの開口部と200nmのアライメント分解能を備えた可変アライメント範囲を備えています。マルチレイヤーアライニング、基板スイッチングをサポートし、スルーホール技術に簡単に拡張できます。MA 6の特長は、XYZR θφの6度の自由度である。さらに、MA 6は光学性能を向上させるために発生角度を調整可能であり、UV硬化材料を溶融して沈殿させることができます。MA 6で提供されるソフトウェアもユーザーフレンドリーで、グラフィカルな操作インターフェースを提供し、ユーザーがコンピュータ制御のオートメーションプログラミングをアップロードおよび制御することができます。MA 6は厳格にテストされており、競争力のある価格で完全に認定されています。これは主要なフォトリソグラフィ材料と互換性があり、標準的なラボプロトコルで使用できます。さらに、BA 6と呼ばれるより大きなオプションが用意されており、さらに高精度、高解像度、およびスループットの向上を実現します。MICROTEC MA6/BA6は、プロフェッショナルな生産と研究アプリケーションの両方に理想的なツールであり、精度と柔軟性を提供します。これは、マスクの整列と基板の精密な製造のための無敵のパフォーマンスを提供し、高度なユーザーに最適です。