中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9226441 を販売中
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販売された
ID: 9226441
ヴィンテージ: 2018
Mask aligner
Manual alignment stage:
Automatic wedge compensation system: Contact / Without contact (Mask and wafer)
Alignment gap program:
1 - 1000 Micron
1 Micron resolution
Movement range mask aligner mode:
X ±10.0 mm, Y ±5.0 mm, Theta ±S"
Movement range bond aligner mode:
X ±3.0 mm, Y ±3-0 mm, Theta ±3°
Machine base with mechanical, pneumatic and electrical equipment
Adapter system:
Mask holders: Up to 7" x 7" maximum
TSA Microscope stage:
X, Y Manipulator (Motorized)
Manual rotation
Wafers / Substrates: Manual loading and unloading
Microprocessor control with LCD display
Lithography applications
Wafers: 2" Up to 150 mm Diameter
Substrates: 2" x 2" Up to 6" x 6"
Bond application
Wafers: 3" Up to 150 mm diameter
Operator manual on CD
BSA Microscopes with working distance 33 mm
Alignment stage:
X, Y Theta
WEC Head for BSA microscope objective separation in X direction 15 mm to 100 mm
Motorized Z axis
Bottom side alignment system:
Separation in X: 15 mm - 100 mm
Travel in Y: - 20 mm to + 50 mm
Motorized focus: 6 mm
Enhanced Image Storage System (EISS):
PC With image and fine focus control
M 306 / 8, DVM 6/8 and BSA
TFT Flat screen, 17"
Integrated trackball
S-VGA Resolution: 1280 x 1024
SUSS DVM6 Microscope:
(2) CCD Cameras
Objective separation: 47 to 140 mm
Single objective UMPL FLI
Working distance: 20 mm
Exposure unit:
Wafer / Substrate: 150 mm
Exposure lamps: Up to 500 W
2018 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6は、フォトマスクや基板の高精度ナノリソグラフィックパターニングに使用されるマスクアライナーです。この機械は、微細な特徴を持つデバイスの量産、研究、開発に使用されています。10nmの精度とステップの再現性でマスクや基板を整列させるための自動化されたツールです。MICROTEC MA6/BA6は、高い精度と再現性により、フォトマスクや基板のパターニングに最適です。これは、精度と再現性を高めるために、マスクチャンバーと基板チャンバーという2つの独立したチャンバーを備えた高度な光学リソグラフィーツールです。マスクチャンバーには180度のスイングアウトドアがあり、アライメント構成で最大2枚のマスクを積み降ろすことができます。これは、簡単にマスクマスクの整列のための2つの5位置アップグレード可能なマスクテーブルを備えています。マスクチャンバーはまた、電動XYZステージを介して手動または自動翻訳と回転の可能性を提供します。基板チャンバーには180度のスイングアウトドアがあり、あらゆるアライメント構成で最大4つの基板をロードおよびアンロードできます。また、5位置のアップグレード可能な基板テーブルを備えており、基板の整列が容易です。基板チャンバーは、マスクチャンバーと同じ手動または自動化されたXYZステージを介した変換と回転を提供します。KARL SUSS MA6/ BA6は、高度な照明システムを使用して、マスクから基板への正確なアライメントと露出を保証します。LEDとミニハロゲンランプの両方の照明源を組み合わせ、最適な強度制御と均一性を伝えます。また、フルオートマチック、セミオートマチック、マニュアルなど、さまざまなアライメントモードを選択できます。また、ソフトウェア制御の動き検出技術を備えており、両方のビームソースで優れた位置精度を保証します。MA 6/BA 6は、比類のない精度、再現性、速度を提供するため、高度なリソグラフィ用途に最適です。マイクロエレクトロニクス、MEMS、オプトエレクトロニクス、磁気ストレージなど、さまざまな分野で研究開発と量産をスケールアップするための信頼性と費用対効果の高いツールです。
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