中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #9152898 を販売中

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ID: 9152898
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6は、小型から中型のマイクロエレクトロニクス機器製造に使用するフォトレジスト機能を備えたマスクアライナーです。このツールは、材料の正確なアライメントのための正確で安定したプラットフォームを提供することにより、材料の直接蒸着を容易にします。マイクロプロセッサ、モーションコントローラ、および機器コンピュータは、アライメントプロセス全体を自動化します。MICROTEC MA6/BA6は、ウェハプレーン全体にわたって光学イメージングを5X削減し、製造プロセス中に最大の分解能を提供します。さらに、このマスクアライナーには、開発中のマスクの正確なアライメントを制御するためのX-YおよびZ軸の変位測定システムを含む高度なビジョン機能が装備されています。KARL SUSS MA6/ BA6は、ウェットケミカルからオーガニック、さらには表面マイクロマシニングに使用される特殊化合物まで、幅広いフォトレジストと連携するように設計されています。このツールは、敏感な材料での作業に特に適しており、開発プロセス中に高い再現性を提供します。ビームシャドウイメージングは、カールSUSS MA6/BA6アライメントユニットの重要な部分でもあります。このイメージング手法により、フォトマスク誤差のリスクを低減し、ナノメートルレベルでも正確なアライメントが可能になります。MICROTEC MA 6/BA 6は、特殊なUV露出アルゴリズムを使用した材料層の迅速な精度アライメントのための高出力UVランプ源を備えており、露光時間の短縮と精度の向上を実現しています。MICROTEC MA 6 BA 6は、包括的なソフトウェア機能も備えています。これにより、CADおよびその他のシミュレーションおよび設計ツールから得られたデータを統合し、効率を最大限に高めることができます。このマスクアライナーは、プロセス監視と記録保持機能も備えており、微細加工プロセス中の進捗状況を正確に追跡することができます。最後に、MICROTEC MA 6/BA 6には、高度な診断およびトラブルシューティングマシンが装備されており、製造中の潜在的な問題を迅速に特定して対処することができます。
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