中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 6 / BA 6 #293639160 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 6/BA 6は、半導体業界の精密機器メーカーであるMICROTECのマスクアライナーです。MA 6およびBA 6マスクアライナーシステムは、ナノメートルレベルの解像度を必要とするハイエンドのフォトリソグラフィーアプリケーションに、正確で再現性のある結果を提供します。MICROTEC MA6/BA6マスクアライナーは、Z軸分解能が0。01ミクロン、ステップサイズが0。12ミクロンです。再現性が0。1ミクロン以下の基板の位置決めが可能です。位置決めテーブルは700mm×600mmのリニアスケールで、最大12サイズの基板を正確に配置できます。このマシンには、スプリットフィールド測定機能を備えた高速アライメント時間を提供するデュアルビーム機器が装備されています。デュアルビームシステムには、ナノメートルレベルの位置精度を提供し、迅速なアライメントを可能にする2つのレーザダイオード干渉計/位置フィードバックシステムが含まれています。また、30倍以上の視野を提供する高分解能テレセントリック光学モジュールを搭載しています。KARL SUSS MA6/ BA6ユニットは、信頼性の高い結果を保証し、欠陥のリスクを最小限に抑えるために、いくつかの機能を提供します。汚染のリスクを低減するため、露光波長を一定に保つオートフォーカス露光ツールを搭載しています。また、露出中の基板の動きを防ぐ真空ホールドを備えています。基板の傷やへこみのリスクを最小限に抑えるために、アセットはエアクッション機能を備えて設計されています。また、高出力水銀アークやXeCl露光ランプなどの幅広い露光源を提供し、1秒未満の露光時間で超高精度パターニングを実現しています。さらに、内蔵のUVフィルターとIRフィルターは、クリーンな作業環境を提供し、あらゆる種類の放射線の基質吸収のリスクを最小限に抑えます。最後に、KARL SUSS/MICROTEC MA6/BA6マスクアライナーには、幅広い診断およびサービスツールが装備されており、測定、検査、および完全な工具制御による性能試験を可能にし、研究開発に最適です。MICROTEC MA-6/ BA-6マスクアライナーは、汎用性、堅牢な設計、精度により、あらゆる精密フォトリソグラフィ用途に最適なツールです。