中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9382959 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、フォトマスク製造、ウェーハイメージング、多層プロセス統合などの産業用フォトリソグラフィーアプリケーション用に設計された半自動、超精密マスクアライナーです。MICROTEC MA56は、マスク（透明度）とウェーハ（シリコンウェーハ層）をナノメートルレベルの精度に合わせることができ、ウェーハ上にパターンを正確に配置することができます。KARL SUSS MA-56は、ロボットアクチュエーションシステムを搭載しており、0。5umの再現性を備えたウェーハへのマスクの正確な高さと電気機械的アライメントを可能にします。このユニットは、簡単なセットアップと操作を可能にする直感的なコンピューター制御システムを利用しています。KARL SUSS/MICROTEC MA-56は、高解像度の粉末回折オートフォーカスと光干渉を備えたデュアルレーザー測位システムを採用し、最適なアライメント精度と再現性を実現しています。XYステージにはデジタル読み出し機能が内蔵されており、X軸とY軸で最大0。25umのアライメント精度を実現します。このマスクアライナーはまた、ウェハレベルの製造のための精密フォトマスクの生産を容易にするための光学および機械的オプションの広い範囲を提供しています。さらに、MA 56には、パルスダイオードレーザー、スポットビーム発生器、光源、アライメント倍率顕微鏡など、さまざまな露光システムとオプションが含まれています。フィルター、レンズ、ビームスプリッター、プロジェクションオプティクスなどの様々な光学部品は、強烈な光放射（通常は紫外線および可視波長範囲）を提供し、ビームサイズを25〜400ミクロンまで変化させることができます。MA-56は、カスタマイズされた正確なマスクツーウェーハアライメントを必要とする幅広いアプリケーションに適しています。複雑なフォトマスクに精密なパターン転送を必要とするお客様に最適なソリューションであり、ダイツダイ、セル間、およびウェハレベル包装（WLP）に適しています。