中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9302582 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、光学リソグラフィを用いてフォトレジストなどの微細構造を生成するマスクアライナーです。アライナーは、マスクホルダーとステッピングテーブルの2つの主要コンポーネントで構成されています。マスクホルダーは、高さ調節可能なマスクホルダーを内蔵した機械式プラットフォームで、マスクを基板に合わせて動かすために使用されます。ステッピングテーブルは、サンプルのマイクロレベルのアライメントを可能にするステッピングモータ駆動プラットフォームです。MICROTEC MA56は、200nmから100nmまでのサブミクロン構造の高分解能パターンと正確なアライメントを提供するように設計されており、0。8/1の数値開口（NA）を備えています。この機械は、0。5umのサイズのパターンを作成することができます。また、ステップサイズが0。5〜20ミクロン、露光時間が0。1〜200msの365 nmから365 nmまでの露光間隔も可能です。さらに、フォーカスコントロールユニットを自動化し、ユーザーが希望のフォーカスをプリセットできるため、露光ステージのフォーカスを完全に調整できます。KARL SUSS MA-56は、アライメントプロセスを容易にするように設計された広範なソフトウェアパッケージを搭載しています。オートエクスポージャー（AE）、オートフォーカス（AF）、オートレベリング（AL）、フォーカスリカバリ（FR）、パターン最適化（PO）ツールなど、幅広いアライメントエイドを提供しています。さらに、モジュラー設計により、交換可能なマスクとさまざまな基板保持システムが可能になるため、機器は汎用性に優れています。これらのすべての機能は、より正確で効率的なリソグラフィープロセスを作成し、デバイス製造の高品質につながります。MICROTEC MA 56は、光学リソグラフィーの力を使用して複雑なパターンやサブミクロン構造を生成するために使用される、フォトリソグラフィーアプリケーションのための信頼性と高精度の光機械工具です。精密かつ効率的なリソグラフィのための広範な機能を提供し、デバイス製造のためのパターンのアライメントの迅速かつ正確な手段を可能にします。