中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9270575 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、産業研究および生産におけるフォトリソグラフィープロセスに使用される高精度の自動マスクアライナーです。半導体製造に使用されるフォトレジストなどの薄膜を堆積してパターン化するために使用されます。MICROTEC MA56は5-115ミクロンの特徴分解能が可能で、厚さ500ナノメートルまでの層に適しています。サーボステージに搭載されたイメージングシステムを採用し、Siウェーハなどの基板にフォトリソグラフィーマスクを露出させます。その後、基板をイメージングシステムの近くの位置に移動し、位置を合わせて焦点を合わせます。このマシンは、単軸と二軸の両方のアライメントが可能です。自動アライメント、全視野測定、ターゲティング、クロスヘア、リニアオートフォーカスなど、さまざまなアライメント方法が可能です。KARL SUSS MA-56は、マスフローコントローラを使用して、フォトレジストや開発者などの化学物質の基板への送達を正確に制御します。温度、湿度、化学濃度、フラックスなどのプロセス条件を簡単に調整できます。また、このマシンは幅広い安全機能を備えており、現在のEMC規制に準拠しています。MICROTEC MA 56は直感的なユーザーインターフェイスと高度に構成可能なワークフローを備えています。C、 Visual Basic、 Pascalなど、さまざまなプログラミング言語を実行できます。遠隔操作が可能で、遠隔監視が可能です。全体として、KARL SUSS/MICROTEC MA-56は、さまざまなフォトリソグラフィープロセスに適したユーザーフレンドリーで高精度なマスクアライナーです。高精度で再現性に優れ、5〜115ミクロンまでの機能分解能を実現します。このマシンは、単軸と二軸の両方のアライメントを実行することができ、プロセス条件を最適化するために簡単に調整することができます。直感的なユーザーインターフェイスとリモート操作により、MA56は産業研究と生産のための貴重なツールとなります。