中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9242466 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56マスクアライナーは、リソグラフィ分野で使用される人気のツールです。マスクアライナーは、マスクや基板を正確に整列させ、フォトリソグラフィー、eビーム、ナノインプリントなどの複雑なフォトミクログラフィックパターンを作成することができます。MICROTEC MA56は、マスクと基板のアライメントを維持するために、高度な光学および電子制御システムを使用しています。これにより、連続マスクの正確な再現可能なアライメントを高精度で実現できます。これにより、スループットが向上し、生産コストが削減されます。KARL SUSS MA-56は、最大546 x 420mmのワーキングエリアを持ち、ステップとリピートのアライメント精度は25 μ mです。MA-56は、ステッピングモーターと真空ハンドルによって駆動される2つのパワーレールを使用してツールを移動します。これにより、アライメントを行うときにツールを正確に配置できます。モータを使用して、基板とマスクに対して工具位置を正確に配置します。このシステムはまた、必要に応じてチャンバー部品の脱気を可能にするデガスヘッドを備えています。MA56には、さまざまなフォトミクログラフィックアプリケーション用に調整できるいくつかのオプションがあります。可変焦点レンズ、高絞りレンズ、水溶性またはサスペンション露光ヘッドなどがあります。また、フォーカス設定、露出時間、チャンバー環境などのパラメーターを素早く調整できるように、さまざまなモニターとディスプレイを備えています。MA 56には、使いやすいように設計された直感的なユーザーフレンドリーなソフトウェアも用意されています。このソフトウェアはC互換で、動作パラメータ、アライメントの設定、レイヤー設定、プロセス全体の監視など、さまざまな制御機能を提供します。全体として、MICROTEC MA 56マスクアライナーは効率的で手頃な価格のツールで、現代のフォトミクログラフィックリソグラフィーアプリケーションのニーズを満たすように設計されています。高度な光学および電子制御システム、直感的なユーザーフレンドリーなソフトウェアは、精度と信頼性を提供し、さまざまなアプリケーションに最適なツールです。