中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9210757 を販売中

ID: 9210757
ウェーハサイズ: 5"
Mask aligner, 5" Manual loading Lamp power: 110 V.
KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、マスクと基板を正確に整列させる高精度マスクアライナーです。このツールは、マイクロファブリケーションおよびその他のマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)のフォトリソグラフィックプロセスで使用されます。MICROTEC MA56マスクアライナーは、アライナーユニット、オプティクス、モーター付きX、 Yステージで構成されています。アライナーは光源を使用してマスクのイメージを基板に投影し、1。2ミクロン以内に高精度なアライメントを提供します。光学系には、照明付きレチクル、ビームスプリッター、イメージングレンズ、ビームエキスパンダーレンズがあります。モーターを備えたX、 Yステージは基板を保持し、高さ調整用の手動Zステージを備えています。KARL SUSS MA-56は、4 「x 5」から8 「x 10」までのさまざまなサイズのマスクのアライメントを可能にします。このマスクアライナーは、セットアップと操作を簡素化する自動化された機能で、オペレータに優しいように設計されています。高解像度モニターにアライメント手順を表示するデジタルイメージング装置を備えています。カールSUSS MA56には、自動ターゲットコントロールシステムとオートフォーカスユニットが搭載されており、正確なアライメントを保証します。MICROTEC MA-56は、1。2ミクロン以上のアライメント精度と6µm (FWHM)のスポットサイズ能力を有しています。また、マスク/基板の特徴を見やすくするための照明付きレチクルと、ダイレクトライトプロセス用のオプションのUVマシンを備えています。MA 56マスクアライナーは、高精度なアプリケーションに最適で、迅速で精密なアライメントと長期的なパフォーマンスを提供します。MEMSやフォトリソグラフィープロセスに最適なツールで、高精度の部品やデバイスの製造を可能にします。このツールは使いやすく、費用対効果の高い方法で正確な結果を提供します。
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