中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9124210 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、フォトリソグラフィ用途に使用されるマスクアライナーです。マスクと基板を同時にアライメントできる3軸自動ステージを備えており、高精度な用途に適しています。コンパクトで軽量なため、生産現場とラボ間の持ち運びが容易です。MICROTEC MA56は、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とガイド付きヘルプメニューを備えたユーザーフレンドリーなソフトウェアを通じてプログラム可能です。GUIを使用すると、ユーザーは関連するパラメータを簡単に選択し、必要なパラメータセットを正確に設定できます。KARL SUSS MA-56には2つのカメラが付属しています。1つは視野画像を生成するためのカメラ、もう1つはマスクと基板を整列させるためのカメラです。MA 56は、マスク内の小さな欠陥を検出できる特許取得済みのピンポイントレーザーシステムを備えており、最大25mmまでの単一マイクロストラクチャーからの高精度なアライメントとパターンの統合を可能にします。オープンアーキテクチャにより、マスクやウェハハンドリングシステムなどの製造プロセスの他のコンポーネントと容易に統合できます。単位は異なった波長の範囲のための2つのレンズと最高のイメージの質を、提供するように設計されています；UVとDUV。UV用途には、直径150mmまでの基板の均一な積み下ろし用に0。4のNAが用意されています。これらのレンズは、倍率と精度の向上を可能にする二次光学系とも互換性があります。KARL SUSS/MICROTEC MA56は、標準的な薄膜成膜システムと高度なGaAsエッチングシステムの両方をサポートし、マスクの位置決めを容易にするためのインデックスマーカーリーダーを備えています。また、ソフトウェア制御のシャッターを内蔵しており、手動シャッターモードと自動シャッターコントロールを選択できます。MICROTEC MA-56は、0。5 μ mの最小フィーチャーサイズで、非常に高精度なアライメントを可能にするように設計されています。また、可変的なサイクルタイム最適化アルゴリズムを提供し、処理の高速化とスループットの向上を可能にします。全体として、KARL SUSS MA 56は汎用性と高精度のマスクアライナーであり、最も要求の厳しいフォトリソグラフィーアプリケーションにも適しています。優れた画質、自動アライメント、高スループットプロセスを提供し、ユーザーの介入を最小限に抑えます。