中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9116712 を販売中
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ID: 9116712
ウェーハサイズ: 4"
Top sided mask aligner, 4"
(4) Coll wafers
Automatic wafer transfer
Set up for deep UV.
KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、SUSS MICROTEC製のマスクアライナーです。マイクロエレクトロニクスの生産用途向けに、大型または小型の基板を正確にアライメントするための実用的で汎用性の高いソリューションです。MICROTEC MA56は、独自のアクティブスタビライゼーション技術を搭載しており、環境条件に関係なく最大4 μ m (± 2 μ m)の精度で結果を提供します。さらに、自動整列光機械式システムは、フルウェーハアライメントプロセスにより5分未満で高いスループット性能を保証します。KARL SUSS MA-56のユーザーインターフェイスは、直感的なWindowsベースのグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を使用しており、ユーザーはマスクアライナーの操作をユーザーフレンドリーに制御できます。KARL SUSS/MICROTEC MA-56の高度な制御装置は、データを転送し、さらなる分析と解釈のために保存することもできます。MA-56は、ロボットアームを介してカセットから露出領域にマスクを通過するための自動ローダーを統合します。マスクアライナーは、4つの調整可能なネジを備えた標準的な手動ウェハレベリングシステムや、革新的な電気機械カセットレベリングマシンを備えた自動アライメントユニットなど、手動ウェハアライメントモデルの両方に対応できます。MA56は、長寿命の水銀ランプ、高精度の光学イメージングツール、および低用量レベルでより高いスループットを可能にする高度な変調伝達機能(MTF)を備えています。アライナーの内蔵ソフトウェアは、さまざまなアプリケーションに適しており、高い収率を達成するためにリソグラフィックパターンの処理を最適化する能力をユーザーに提供します。MA 56は、最大200 cm²の異なる基板サイズを利用することができ、高い精度と温度や湿度などの環境要因を補償する機能を提供します。マスクアライナーは、世界市場に適した様々な言語をサポートしています。全体として、MICROTEC MA 56は信頼性の高いマスクアライナーで、短時間で比類のない精度で正確な結果を提供します。それは多くのマイクロエレクトロニクス企業にとって有益である多目的で実用的なソリューションです。
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