中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #9080239 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、半導体デバイスの製造などのフォトリソグラフィ用途向けに設計されたマスクアライナーです。ネガフィルムマスターからウェーハへパターンを素早く正確に転送できる高精度機器です。200mm、 157mmのウェーハサイズで動作可能で、最小フィーチャーサイズは0。5ミクロンです。システムはメインフレームとヘッドユニットの2つの主要コンポーネントで構成されています。メインフレームは、マスクステージ、照明源、光学部品を含むベースユニットです。ヘッドマシンはメインフレームの上に取り付けられ、XYステージと露出時の基板の位置を制御するZ軸ドライブで構成されています。ヘッドはまた、マスターのイメージを基板に焦点を当てた投影光学系を収容しています。マスクステージは、ネガフィルムをマスクプレートに整列させるための保持機構として真空チャックを採用しています。それはフィルムの精密な直線を保障するために顕微鏡が装備されています。照明源には水銀とハロゲン電球の両方が含まれており、マスク材料に合わせて異なる波長の光を提供します。XYステージは、基板上のフィルムのステップと繰り返しのアライメントを可能にします。ミクロン単位の精度で、フィルムを基板に正確にアライメントすることができます。投影光学は球根からの照明を基質に集中させる高出力レンズ用具です。精度は非常に高く、解像度は0。5ミクロンです。Z軸ドライブにより、露出時の基板位置を正確に制御できます。MICROTEC MA56は、フォトリソグラフィ用途に理想的なソリューションであり、ネガフィルムマスターからウェーハへのパターンの迅速かつ正確な転送を提供します。高精度の部品と機能により、製造メーカーは半導体デバイスを迅速かつ正確に製造することができます。