中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293818127 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）の製造に使用される自動マスクアライナーです。一体型オプティクス、自動ウェーハステージング、マルチゾーン加熱・冷却を採用したマスクプロジェクションシステムです。これは、シリコン基板にパターンをアウトライン化して転送する正確で信頼性の高い方法を提供します。デジタルマスクパターンジェネレータと高速で高精度な対物レンズを搭載し、最小線幅90nm、最小線間隔180nmのパターンを生成することができます。MICROTEC MA56は、最大0。5 µmの解像度で幅広いパターンを生成することができます。また、3𝛍 X、 Y、 θΩのウェーハステージを備えており、アライメント中にウェーハを正確に配置および方向付けできます。KARL SUSS MA-56は、従来のアークランプよりも明るさと均一性を提供する高品質の光源も備えています。これにより、基板への正確なアライメントとパターン転送が保証されます。KARL SUSS/MICROTEC MA-56の光学設計には、いくつかの高い数値開口目標が含まれており、半自動フォーカスと再コーカシングが可能です。すべてのパターンは、安定した振動補償光学ボックスを介して基板に投影されます。MICROTEC MA 56は、自動化された高精度アライメントのために設計された幅広い機能を提供します。自動化されたウェハローディング、マルチゾーン加熱および冷却、アライメント精度のデジタル制御、プロセスパラメータへのフルアクセスを備えています。また、複雑なウェーハジオメトリの2点登録とローカル登録も備えています。MA-56は、MEMシステムの高精度、大規模な製造に最適です。これは、パターンを基板に整列および転送するための正確で反復可能な方法を提供し、正確で正確な登録を提供します。包括的なソフトウェアスイートは、すべてのパラメータを制御するための使いやすく柔軟なメカニズムを提供し、信頼性の高いアライメントと再現性を確保します。MA56は、高品質で費用対効果の高い高精度マスクの製造方法です。