中古 KARL SUSS / MICROTEC MA 56 #293745236 を販売中

ID: 293745236
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 56は、多くのフォトリソグラフィープロセスで使用される高精度マスクアライナーです。このデバイスは、強烈な光源と高精度のXYマスクステージを備えた特別な投影光学システムを使用しています。MICROTEC MA56は、フォトマスクの正確なアライメントと登録を可能にし、結果とそれに続くレイヤーの正確なフィーチャー定義と正確なアライメントを保証します。KARL SUSS MA-56は、Maskステージ、Limiting Structure、 Reticleの3つの主要コンポーネントで構成されています。マスクステージは、フォトマスクの正確なアライメントを担当し、リミッティング構造は、その後のレイヤーの正確なフィーチャー定義と正確なアライメントを保証します。レチクルは、マスクに光を集中させるために使用されます。MICROTEC MA-56の高度な光学システムは、精密な集中機構と大きな発光領域を備えています。これにより、製品の正確な位置決めと小さなフィーチャーサイズが可能になります。さらに、KARL SUSS MA56は、高度な自動アライメント機能を備えており、簡単なセットアップと正確なアライメントを可能にします。MICROTEC MA 56に関連付けられた高度なフォトリソグラフィーソフトウェアは、複数の露出とウェーハ登録オプションを可能にします。このデバイスは最大1600倍の拡大が可能で、レンズ解像度が向上しています。KARL SUSS MA 56は温度制御ステージを備えており、プロセスの安定性を向上させます。KARL SUSS/MICROTEC MA56は機能検出精度も向上しており、最も精度の高いフォトリソグラフィープロセスにも適しています。MA 56のアライメント精度は+/-0。5ミクロンです。MA-56は、ソフトベーク、ベイク、アニール、開発など、さまざまなフォトレジスト治療を行うことができます。MA56は、低消費電力で高品質な部品を使用しているため、信頼性の高い機器です。高速かつ高精度なフォトマスク加工が可能です。その結果、このデバイスは、集積回路、半導体デバイス、およびハイブリッド集積回路の生産に広く使用されています。
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